[发明专利]一种清洗溶液及采用该溶液的清洗方法无效
| 申请号： | 200810180950.1 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101735904A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 范国明 | 申请（专利权）人： | AXT公司 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 溶液 采用 方法 | ||
1.一种用于清洗生长砷化镓晶体的器皿的混合酸溶液，包括硝酸、氢氟酸和水。
2.权利要求1的溶液，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为1-6∶0.1-1.5∶0.1-1.5。
3.权利要求2的溶液，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为2-5∶0.5-1.2∶0.5-1.2。
4.权利要求3的溶液，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为3-4.5∶1.0∶1.0。
5.权利要求4的溶液，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为4.0∶1.0∶1.0。
6.权利要求1-5之一的溶液，其中生长砷化镓晶体的器皿包括坩埚和石英管。
7.清洗生长砷化镓晶体的器皿的方法，包括对用于生长砷化镓晶体的器皿依次进行下列处理：浸泡于一种混合酸溶液、浸泡于氨水溶液、表面活性剂超声波振洗，以及去离子水超声波振洗，其中所述混合酸包括硝酸、氢氟酸和水。
8.权利要求7的方法，其中混合酸中硝酸、氢氟酸和水的体积比为1-6∶0.1-1.5∶0.1-1.5。
9.权利要求8的方法，其中混合酸中硝酸、氢氟酸和水的体积比为2-5∶0.5-1.2∶0.5-1.2。
10.权利要求9的方法，其中混合酸中硝酸、氢氟酸和水的体积比为3-4.5∶1.0∶1.0。
11.权利要求10的方法，其中混合酸中硝酸、氢氟酸和水的体积比为5.权利要求4的溶液，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为4.0∶1.0∶1.0。
12.权利要求6-10之一的方法，其中表面活性剂超声波振洗中采用的表面活性剂为TW-80。
13.权利要求7-10的方法，其中生长砷化镓晶体的器皿包括坩埚和石英管。
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