[发明专利]气液分离装置

说明书

技术领域

本发明涉及气液分离装置，更详细地说，涉及例如对从在半导体制造中使用的涂敷处理、显影处理等的液处理装置排气的流体中包含的气化物质、流体中浮游的处理液的雾状微小粒子等液滴化，并分离回收的气液分离装置。

背景技术

目前，作为将处理液的雾状粒子等从空气中分离回收的喷雾分离器的一种，在箱体内并排有多个波纹板，当含有雾状粒子等的气体流入时，雾状粒子等被波纹板捕集、回收，从气体中分离雾状粒子等的构造是众所周知的(例如，参照专利文献1)。

专利文献  特开2005-252100号公报(权利要求书，图4)

发明内容

在专利文献1记载的技术中，担心在用喷雾分离器处理后的流体(空气)中，残留有处理液的气化物质、雾状微小粒子等，存在将通过喷雾分离器的流体排气到工厂外(系统外)的问题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够捕集气液混合流体中浮游的微小液滴，进一步，能够捕集包含在气液混合流体中的气化物质的气液分离装置。

为了解决上述问题，本发明的特征在于，在连接到使气液混合流体通过的管路的箱体内，具有在上述流体的流动的截面上设置的冷却器，和在冷却器的下游侧沿着上述流体的流动并列配设的多个波纹板，其中，上述冷却器构成为，与设置在外部的冷却源连接，通过冷却凝结包含在上述气液混合流体中的气化物质，上述多个波纹板，具有缩小波纹板彼此的间隔，提高上述流体的流速使其通过的节流部，和在该节流部的下游侧上述气液混合流体冲撞的壁面，具有使上述流体中 浮游的微小液滴在上述壁面上附着流下并回收的液滴捕集通路。(第一方面)

根据这样的构成，在箱体内流通的气液混合流体，流过冷却器，在波纹板之间流通，之后流出到箱体外。气液混合流体提高流速通过波纹板间的节流部，当与该下游侧的壁面冲撞时，该流体中浮游的微小液滴附着在该壁面上而被捕集。在这种情况下，因为上游侧的冷却器冷却气液混合流体，所以包含在该流体中的气化物质被凝结，与浮游在该流体中的微小液滴一起被液滴化。因此，作为附着在上述壁面上而被捕集的液滴，不仅是喷雾，而且气化物质也被有效地分离回收。

在本发明中，优选上述波纹板，由具有热传导性的材料构成，与上述冷却器连接(第二方面)。

根据这样的构成，用冷却器可以有效地冷却波纹板，由此，因为波纹板的温度和上述流体的温度之间产生温度差，所以能够使包含在该流体中的气化物质在波纹板的表面结雾、凝结，液滴成长变大后流下，所以可以从箱体底部回收液滴。因此，可以进一步增加来自上述流体中的微小液滴的捕捉量。

在本发明中，优选上述冷却器由格子状的冷却管构成，冷却管和波纹板连接成一体，使得该冷却管和上述波纹板之间能够进行热传导(第三方面)。进而，优选设置成上述冷却管与上述波纹板的上部和下部接触，上述热交换管与上述波纹板的端部接触。

根据这样的构成，与上述同样，通过冷却波纹板能够回收包含在上述流体中的气化物质。

在本发明中，优选在上述波纹板间形成的上述节流通路的内侧面形成有疏水层(第四方面)。而且，在本发明中，优选在上述波纹板间形成的上述液滴捕集通路的流体冲撞壁面上形成有亲水层(第五方面)。进一步，在本发明中，优选在上述波纹板间形成的上述节流通路的内侧面形成有疏水层，并且在上述波纹板间形成的上述液滴捕集通路的流体冲撞壁面上形成有亲水层(第六方面)。

根据这样的构成，在形成有疏水层的节流通路的内侧面，难以附着微小液滴，而且在流体中含有的气化物质难以凝结，所以能够将流体流过节流通路时的压力损失的降低抑制得较少。而且，在形成有亲 水层的表面，容易附着微小液滴，所以可以进一步增加微小液滴的捕捉量。

在本发明中，优选上述冷却器，由在上述气液混合流体的流动的截面上的上部和下部水平设置的上部冷却管和下部冷却管，以及相互平行配设，上端和下端与上部冷却管和下部冷却管连通连接的多个纵冷却管，形成格子状，并且上述上部冷却管的外端和下部冷却管的外端，与设置在外部的作为上述冷却源的制冷剂供给源连接(第七方面)。或者，在本发明中，优选上述冷却器，由在上述气液混合流体的流动的截面上的上部和下部水平设置的由热传递管构成的上部冷却管和下部冷却管，以及相互平行设置，上端和下端用上部冷却管和下部冷却管连通连接的多个热导管构成的纵冷却管，形成格子状，并且上述上部冷却管的外端和下部冷却管的外端，与设置在外部的作为上述冷却源的珀尔帖元件的吸热侧连接(第八方面)。