[发明专利]检测产品品质超规与评估产品实际测量值的方法

权利要求书

1.一种检测产品品质超规的方法，其特征在于包含：

根据一生产机台的多组历史工艺数据来建立一工艺数据质量指针模型，其中 该工艺数据质量指针模型是根据一主成分分析法和一欧氏距离来建立，该生产机台 根据这些组历史工艺数据来生产多个历史工件，这些历史工件具有分别对应至 这些组历史工艺数据的多个历史测量值；

以这些组历史工艺数据，并应用交互验证中的一留一法于该工艺数据质量指 针模型，来计算出一工艺数据质量门槛值；

以这些历史工件的这些历史测量值和其对应的这些组历史工艺数据来建立 一品质超规检测模型，其中该品质超规检测模型是应用一分类与回归树方法来建 立，该品质超规检测模型包含有多个品质类别规则的一模型树，每一这些品质类别 规则代表3项品质类别之一，用以指出产品品质是否超规；

收集该生产机台生产一工件所使用的一组工艺数据；

使用该工艺数据质量指针模型来对该组工艺数据进行一评估工艺数据质量指 针的步骤，其中该评估工艺数据质量指针的步骤包含：

计算该组工艺数据的一工艺数据质量指针值；

判断该工艺数据质量指针值是否大于该工艺数据质量门槛值，并获得一第一 结果，其中当该第一结果为是时，则代表该工件的该组工艺数据为异常工艺数据； 以及

当该第一结果为否时，则应用该组工艺数据至该品质超规检测模型，来进行 一品质超规检测机制，以于生产线上实时检测出该工件的该组工艺数据所符合的这 些品质类别规则之一。

2.根据权利要求1所述的检测产品品质超规的方法，其特征在于还包含：

以这些历史工件的这些历史测量值和这些组历史工艺数据来建立一测量数 据质量指针模型，其中该测量数据质量指针模型是根据一自适应性共振理论2及一 标准化变异来建立；

以这些历史测量值，并应用相似样版群内最大可容许的变异的观念于该测量 数据质量指针模型来计算出一测量数据质量门槛值；

收集该工件的一实际测量值及与该实际测量值相对应的该组工艺数据；

当该第一结果为否时，转换生产该工件的该组工艺数据为一组z分数；

将该组z分数与该实际测量值输入至该测量数据质量指针模型中，以计算该 实际测量值的一测量数据质量指针；以及

判断该测量数据质量指针是否大于该测量数据质量门槛值，并获得一第二结 果，其中当该第二结果为是时，则代表该工件的该实际测量值为异常工艺数据。

3.根据权利要求2所述的检测产品品质超规的方法，其特征在于该以这些历 史工件的这些历史测量值和这些历史工艺数据来建立该测量数据质量指针模型的 步骤包含：

从这些组历史工艺数据中分类出多个相似样版。

4.根据权利要求3所述的检测产品品质超规的方法，其特征在于还包含：

于这些相似样版群中搜寻出与该实际测量值的工艺数据的该组z分数的一最 相似样版；以及

应用该最相似样版及该实际测量值，来计算该实际测量值的该测量数据质量 指针，并重新计算该测量数据质量门槛值。

5.根据权利要求4所述的检测产品品质超规的方法，其特征在于还包含：

当该第二结果为否时，将该实际测量值和与其对应的该组工艺数据的该组z 分数加入至这些组历史工艺数据中，来重新建立该测量数据质量指针模型。

6.根据权利要求2所述的检测产品品质超规的方法，其特征在于该品质超规 检测机制包含：

当该第二结果为否时，则使用已确认为正常的该实际测量值和与其对应的该 组工艺数据来执行一重新训练与修剪步骤，以更新该品质超规检测模型。