[发明专利]光调制器、光调制器模块以及包括其的扫描显示装置

权利要求书

1.一种光调制器模块，包括：

光调制器，根据驱动信号调制入射的入射光束并输出调制的光束；以及

光透射基板，设置在所述光调制器中并形成有相位控制图案，所述入射光束和输出的光束穿过所述光透射基板，并且所述相位控制图案在作为所述入射光束和所述输出光束的光路的表面的一部分中形成，

其中，在所述相位控制图案中，自相关函数的中心峰的宽度w小于所述相位控制图案的宽度T，并且旁瓣水平A_s小于所述中心峰的水平A(0)。

2.根据权利要求1所述的模块，其中，所述相位控制图案满足公式|A_s/A(O)|²<<1和w/T<<1。

3.根据权利要求1所述的模块，其中，所述相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的高度的凸起形式。

4.根据权利要求1所述的模块，其中，所述相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的深度的下凹形式。

5.根据权利要求1所述的模块，其中，所述相位控制图案产生零弧度或π弧度的相对相移。

6.一种光调制器，包括：

基板；

绝缘层，设置在所述基板中；

结构层，具有远离所述绝缘层以预定间隔设置的中心部分，并具有其中形成有上反射镜的表面，第一相位控制图案形成在所述中心部分中；以及

压电驱动元件，设置在所述结构层的相对的侧部分中并允许所述结构层的中心部分上下移动，

其中，在所述第一相位控制图案中，自相关函数的中心峰的宽度w小于所述相位控制图案的宽度T，并且旁瓣水平A_s小于所述中心峰的水平A(0)。

7.根据权利要求6所述的光调制器，其中，所述第一相位控制图案满足公式|A_s/A(O)|²<<1和w/T<<1。

8.根据权利要求6所述的光调制器，其中，所述第一相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的高度的凸起形式。

9.根据权利要求6所述的光调制器，其中，所述第一相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的深度的下凹形式。

10.根据权利要求6所述的光调制器，其中，所述第一相位控制图案产生零弧度或π弧度的相对相移。

11.根据权利要求6所述的光调制器，其中，

在所述结构层的所述中心部分沿长度方向形成至少一个狭缝，并且，

所述绝缘层具有其中形成有下反射镜的表面，并且第二相位控制图案在所述第一相位控制图案的下部形成。

12.根据权利要求11所述的光调制器，其中，在所述第二相位控制图案中，自相关函数的中心峰的宽度w小于所述相位控制图案的宽度T，并且旁瓣水平A_S小于所述中心峰的水平A(0)。

13.根据权利要求12所述的光调制器，其中，所述第二相位控制图案满足公式|A_s/A(O)|²<<1和w/T<<1。

14.根据权利要求11所述的光调制器，其中，所述第二相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的高度的凸起形式。

15.根据权利要求11所述的光调制器，其中，所述第二相位控制图案被雕刻成具有复合巴克码序列图案的深度的下凹形式。

16.根据权利要求11所述的光调制器，其中，所述第二相位控制图案产生零弧度或π弧度的相对相移。

17.根据权利要求11所述的光调制器，其中，所述第一相位控制图案和所述第二相位控制图案具有相同的形状。