[发明专利]发光显示器件及其制造方法有效
申请号: | 200810182987.8 | 申请日: | 2008-12-15 |
公开(公告)号: | CN101645489A | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | 金珉秀;梁斗锡;郑荣孝;李凤锦;姜炅旼 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L27/32;H01L51/56;H01L21/82 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 显示 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造发光显示器件的方法,包括下述步骤:
在第一基板的发光区域处形成第一电极;
在所述发光区域处的所述第一电极的整个表面上形成用于完全覆盖在 所述第一电极的整个表面上的微粒的厚度为1~200的透明氧化物薄膜;
在所述氧化物薄膜的整个表面上形成用于发光的有机发光层;和
在包括所述有机发光层的所述第一基板的整个表面上形成第二电极,
其中形成所述透明氧化物薄膜的步骤包括:
通过PECVD方法、旋涂方法、非旋涂方法或溅射方法在所述发光区域 处的所述第一电极的整个表面上沉积从铝、铝合金、铜、银和铬中选择的至 少一种金属,从而形成导电金属薄膜,
将沉积在所述发光区域处的所述第一电极的整个表面上的所述至少一 种金属构图,
将所述被构图的至少一种金属自然氧化。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括形成至少一个开关器件的 步骤,该开关器件包括栅极电极、源极/漏极电极、半导体层、欧姆接触层、 栅极绝缘膜和保护膜,
所述第一或第二电极与所述开关器件的漏极电极电连接。
3.根据权利要求1所述的方法,进一步包括下述步骤:
在所述第一基板的非发光区域处形成辅助电极;
在包括所述辅助电极的所述第一基板的所述非发光区域处由无机绝缘 材料形成缓冲层;
在与第二基板的接触电极相对的所述第一基板的所述非发光区域上形 成接触衬垫料;
形成与所述辅助电极相对的用于将所述发光区域分为子像素单元的隔 离体,
其中所述第一电极与所述辅助电极电连接,
所述有机发光层和所述第二电极通过所述隔离体分为所述子象素单元, 且
所述第二电极利用所述接触衬垫料与所述第二基板上的所述开关器件 的漏极电极电连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择