[发明专利]西门子法多晶硅尾气处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种西门子法多晶硅尾气处理方法。

背景技术

由于电子市场和太阳能市场对多晶硅的大量需求，西门子法硅企业大量上马，而污染问题也相继暴光，并且尾气的治理已成为硅企业发展的瓶颈，为此解决西门子法多晶硅尾气的治理问题成了企业发展的重中之重。

发明内容

本发明的目的是提供一种西门子法多晶硅尾气处理方法，该方法工艺简单、成本低廉、设备投资少。

为解决上述技术问题，本发明所提供的技术方案是：一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：

(1)配料：将四氯化硅与水按摩尔比0.5～0.8∶1～2.4混匀；

(2)反应：对混合物料进行加热回流，温度为100～150℃，回流时间为2～4小时；

(3)分离：反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；

(4)冷凝分离：用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。

步骤(1)中四氯化硅与水的摩尔比为1∶2。

步骤(2)中反应条件为：温度100～110℃，回流时间为2～2.5小时。

步骤(3)中反应条件为：温度在60℃以上。

步骤(4)中反应条件为：冷凝温度为30～50℃。

本发明的工作原理：利用四氯化硅与水之间的反应，将四氯化硅无害化处理：SiCl₄+2H₂O＝SiO₂+4HCl；生成的二氧化硅产物为固态，容易与其它成分进行分离。再利用氯化氢与多余的四氯化硅原料的沸点相差较大，采用冷凝方式达到分离的目的。

本发明具有的优点：处理速度快，处理量大，处理成本低，没有二次污染。

附图说明：

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明的流程框图。

具体实施方式：

实施例1

按如图1所示的流程，取四氯化硅148g和水43g混合，103℃，回流反应2小时，60℃过滤、洗涤、干燥，即得到53g高纯二氧化硅产品。

尾气在50℃冷凝，水吸收得到33％盐酸371g。

实施实例2

取四氯化硅158g，水30g混合，150℃，回流反应3小时、70℃过滤、洗涤、干燥，即得到58g高纯二氧化硅产品。

尾气经冷凝，水吸收得到30％盐酸401g。

实施实例3

取四氯化硅188g，水48g混合，101℃，经过回流反应、85℃过滤、洗涤、干燥，即得到62g高纯二氧化硅产品。

尾气经冷凝，水吸收得到32％盐酸483g。

实施例4

取四氯化硅88g，水11.8g混合，142℃，经过回流反应、95℃过滤、洗涤、干燥，即得到18g高纯二氧化硅产品。

尾气经冷凝，水吸收得到32％盐酸38g。

各实施实例高纯二氧化硅检测分析结果见附表1

表1各实施实例高纯二氧化硅检测分析结果