[发明专利]衬底传送方法、传送系统和光刻投影设备

权利要求书

1.一种采用传送单元基于有效传送数据将衬底从第一衬底保持器传送至第二衬底保持器的方法，该方法包括：

在所述第一衬底保持器上提供所述衬底；

测量所述衬底的位置误差；

在所测量的所述位置误差的基础上计算位置调整数据；

根据所述位置调整数据相对于参考位置移动所述第二衬底保持器；

根据所述传送数据并采用所述传送单元将衬底从第一衬底保持器传送到第二衬底保持器，并且将所述衬底放置到已移动的所述第二衬底保持器上。

2.根据权利要求1的方法，其中该方法还包括以下步骤，在所述测量之后：

将所测量的所述位置误差划分为第一部分和第二部分；

在所述传送数据和位置误差的所述第一部分的基础上，计算修正的传送数据；以及

其中，该计算位置调整数据的步骤基于所测量的位置误差的所述第二部分，且所述传送步骤根据所述修正的传送数据来执行。

3.根据权利要求2的方法，其中所述划分步骤通过下述步骤执行：

如果位置误差保持低于预先设定的阈值误差，则将整个位置误差指定为第一部分；以及否则，

将预先设定的阈值误差指定为第一部分并且将整个位置误差与预先设定的阈值误差之间的差值指定为第二部分。

4.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中位置误差是通过偏心传感器测量到的偏心误差。

5.根据权利要求1-3中任何一项所述的方法，其中位置误差可划分为通过偏心传感器测量所得的偏心误差和通过取向传感器测量所得的取向误差。

6.一种基于有效传送数据来传送衬底的传送系统，该传送系统包括：

第一衬底保持器，其被配置用作保持衬底；

位置传感器，其被配置用作测量放置在所述第一衬底保持器上的所述衬底的位置误差；

第二衬底保持器，其被配置用作保持衬底；

传送单元，其被配置为根据所述传送数据将所述衬底从第一衬底保持器传送至第二衬底保持器；

处理器，其与所述位置传感器进行通信，并被配置为在所测量的所述位置误差的基础上来计算位置调整数据；

控制单元，其与所述处理器进行通信，并被配置为根据所计算的所述位置调整数据相对于参考位置移动所述第二衬底保持器。

7.根据权利要求6的传送系统，其中所述第二衬底保持器被放置在第一可移动台模块上，且所述第一可移动台模块被放置在第二可移动台模块上，所述第一和第二可移动台模块与所述控制单元进行通信，控制单元还被配置用来移动所述第二可移动台模块和所述第一可移动台模块，以使得所述第二衬底保持器可以放置在所述参考位置，且控制单元还被配置用来移动所述第一可移动台模块，以使得根据所计算的所述位置调整数据相对于所述参考位置移动所述第二衬底保持器。

8.根据权利要求6或7的传送系统，其中所述处理器还被配置为：

将所测量的位置误差划分为第一部分和第二部分；

在传送数据以及位置误差的第一部分的基础上计算修正的传送数据；以及

在所测量的位置误差的第二部分的基础上计算位置调整数据；以及

其中所述传送单元与所述处理器进行通信，并被配置为根据所述修正的传送数据将所述衬底从第一衬底保持器传送至第二衬底保持器。

9.根据权利要求6的传送系统，其中所述位置传感器包括被配置为用作测量偏心误差的偏心传感器。

10.根据权利要求9的传送系统，其中所述位置传感器还包括被配置用作测量取向误差的取向传感器。

11.根据权利要求6的传送系统，其中所述第一衬底台可围绕其中心旋转。

12.根据权利要求6的传送系统，其中所述传送单元包括至少三个位于所述第二衬底台中的可延伸的销。

13.根据权利要求12的传送系统，其中所述传送系统还包括被配置用来控制所述至少三个可延伸销的延伸的致动器。