[发明专利]电浆加工设备

权利要求书

1.一种电浆加工设备，包括：

一加载互锁真空室；

一传送室，与所述加载互锁真空室分离安置；以及

一开口阀，连结于所述加载互锁真空室的一边，

其特征在于，所述开口阀包括：

一阀箱，所述阀箱的两边面处都至少具有一开口；

一叶片，装配于所述阀箱中，以开启及关闭所述阀箱任一边面处的所述开 口；

一致动器，提供一驱动力，以开启及关闭所述叶片，所述致动器为一气缸， 所述气缸包括一气缸主体，连结于所述阀箱，以及一气缸杆件，相对于所述气 缸主体伸长及收缩；以及

一拴锁单元，连结所述致动器，并防止所述叶片在保养工作期间开启及关 闭的运作，所述拴锁单元为一拴锁插销，所述拴锁插销插入所述气缸主体的一 边内，并穿过所述气缸杆件，以使所述气缸杆件限制于所述气缸主体内。

2.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，两拴锁块装配于所 述气缸主体中，且安置于所述气缸杆件的两边，

一插销插孔，形成于所述各拴锁块中，在保养工作期间所述拴锁插销插入 所述插销插孔中，以及

一插销穿孔，形成在所述气缸杆件中，且当所述气缸杆件处于未伸长时的 位置，所述插销穿孔安置在与所述插销插孔相同的轴线上。

3.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，一插销储存单元装 配于所述气缸中，且在开口阀正常运作期间储存所述拴锁插销。

4.根据权利要求3所述的电浆加工设备，其特征在于，两拴锁块装配于所 述气缸主体中，并安置于所述气缸杆件的两边，且

所述插销储存单元是一插销储存孔，其利用穿过所述各拴锁块而形成，而 所述拴锁插销插入所述插销储存孔。

5.根据权利要求4所述的电浆加工设备，其特征在于，一插销固定孔以垂 直于所述拴锁插销的方向而形成于至少一所述拴锁块内，且

一固定插销插入所述插销固定孔中，以固定插入所述插销储存孔的所述拴 锁插销。

6.根据权利要求5所述的电浆加工设备，其特征在于，一圆形沟槽沿着所 述拴锁插销的圆周方向形成，使得所述固定插销的一末端部分被卡在所述圆形 沟槽中。

7.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，所述气缸以及所述 拴锁插销通过一寻物索连接。

8.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，所述开口阀更包括 一信号产生模块，装配于所述气缸中，并由所述拴锁插销控制其开关而切断供 给所述气缸的一驱动力。

9.根据权利要求8所述的电浆加工设备，其特征在于，一插销储存孔形成 于所述气缸中，以便在所述开口阀正常运作期间储存所述拴锁插销，且

所述信号产生模块包括一弹性开关，经由插入所述插销储存孔的所述拴锁 插销压迫及接触所述弹性开关，则提供所述驱动力至所述气缸，而当所述拴锁 插销从所述插销存孔中移除，所述弹性开关则被打开而切断提供给所述气缸的 驱动力。

10.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，所述叶片枢接装 配于所述阀箱中以开启及关闭所述开口，且所述电浆加工设备是一种化学气相 沉积设备。

11.根据权利要求1所述的电浆加工设备，其特征在于，所述开口阀是一 闸口阀或一入口阀，所述闸口阀连结于所述加载互锁真空室面对所述传送室的 一边面，所述入口阀连结于所述加载互锁真空室面对外界的一边面。