[发明专利]电极用钛材的表面处理方法

权利要求书

1.一种电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，包括：

在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面形成10nm以上、80nm以下厚度的氧化钛层的氧化钛层形成工序；

通过PVD法，在所述氧化钛层之上形成含有从Au、Pt、Pd中选择的至少1种贵金属的厚度为2nm以上的贵金属层的贵金属层形成工序；

在300℃以上、800℃以下的温度对形成有所述贵金属层的钛材进行热处理的热处理工序。

2.根据权利要求1所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，所述氧化钛层形成工序是在大气中在200℃以上、600℃以下的温度进行热处理。

3.根据权利要求1所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，所述氧化钛层形成工序是以100V以下的电压进行阳极氧化处理。

4.根据权利要求1所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，所述氧化钛层形成工序是在pH0.5以上的盐酸水溶液的钛的钝态形成气氛下进行氧化处理。

5.根据权利要求1所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在进行所述氧化钛层形成工序前，进行用含有非氧化性的酸的溶液除去所述钛材的表面的自然氧化层的酸洗处理工序。

6.根据权利要求2所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在进行所述氧化钛层形成工序前，进行用含有非氧化性的酸的溶液除去所述钛材的表面的自然氧化层的酸洗处理工序。

7.根据权利要求3所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在进行所述氧化钛层形成工序前，进行用含有非氧化性的酸的溶液除去所述钛材的表面的自然氧化层的酸洗处理工序。

8.根据权利要求4所述的电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，在进行所述氧化钛层形成工序前，进行用含有非氧化性的酸的溶液除去所述钛材的表面的自然氧化层的酸洗处理工序。