[发明专利]脆基板裂片设备和方法

权利要求书

1.一种脆基板裂片设备，包括：

第一加热器，所述第一加热器用于加热从外部供应的空气；

蒸汽供应装置，所述蒸汽供应装置用于将蒸汽供应到由所述第一加热器加热的首次加热的空气；

第二加热器，所述第二加热器用于加热由所述首次加热的空气和所述蒸汽构成的混合物；和

喷嘴，所述喷嘴用于将由所述第二加热器加热的再次加热的空气喷射到脆基板上。

2.一种脆基板裂片方法，包括：

通过加热从外部供应的空气，形成首次加热的空气；

将所述首次加热的空气与蒸汽混合；

通过加热由空气和蒸汽构成的所述混合物，形成再次加热的空气，所述再次加热的空气的含湿量是按体积计算的1-10％；和

将所述再次加热的空气喷射到脆基板的表面上。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述首次加热的空气的温度在80℃到250℃的范围内。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述再次加热的空气的温度在80℃到250℃的范围内。