[发明专利]一种发射率可调型光学太阳反射器

权利要求书

1.一种发射率可调型光学太阳反射器，其特征在于：包括导热基片、压电驱动模块、光学太阳反射器、预紧弹簧和封装盖板；导热基片为方形片状结构，上开有压电驱动模块安装槽、封装固定螺孔和从安装槽向基片边缘开设的引线孔，压电驱动模块安装槽为回形结构，内镀有导电金属薄膜，该导电金属薄膜作为压电驱动模块的下电极，并经引线孔中引出导线用于电连接，压电驱动模块为能够正好嵌入压电驱动模块安装槽带银电极的回形压电陶瓷块，从压电驱动模块的银电极表面上经引线孔引出导线，用于电连接，压电驱动模块用胶固定在导热基片的压电驱动模块安装槽内，已经安装了压电驱动模块的导热基片表面镀有对红外线热辐射高反射的薄膜，光学太阳反射器为与压电驱动模块外边缘尺寸一致的片状结构，一面依次沉积银薄膜、镍铬合金膜、金膜，一面沉积氧化铟锡薄膜，光学太阳反射器镀有氧化铟锡薄膜一面朝上，放置到已经安装了压电驱动模块的基片上面，封装盖板为覆盖在导热基片与光学太阳反射器上的筒状结构，封装盖板上开有反射窗和与导热基片对应的封装固定螺孔，通过螺丝与导热基片固定，封装盖板上边缘与光学太阳反射器之间用预紧弹簧连接；

其中导热基片材料选用氧化铝、氮化铝或氧化铍中的任意一种，压电驱动模块材料选用锆钛酸铅、掺镧锆钛酸铅或铌镁锆钛酸铅中的任意一种，安装了压电驱动模块的导热基片表面镀有的对红外线热辐射高反射的薄膜为铝、金中的任意一种；光学太阳反射器材料选用玻璃片，封装盖板材料选用铝合金、钛或钛合金。

2.一种发射率可调型光学太阳反射器制作方法，其特征在于具体制作步骤如下：

步骤1，选择导热基片材料，加工成长度为20mm～100mm、宽度20mm～100mm、厚度在0.5mm～5mm之间的方形片状结构，导热基片材料为氧化铝、氮化铝或氧化铍中的任意一种；

步骤2，对步骤1完成的结构采用研磨加工工艺对上表面进行加工，使上表面的粗糙度在0.2um～0.3um之间、平面度为0.4um；

步骤3，在步骤2完成的导热基片上采用溶胶凝胶旋涂法制备一层光刻胶层，光刻胶层厚度在1um～15um之间，在80摄氏度～120摄氏度下保存10～30分钟后使光刻胶层固化； 

步骤4，在步骤3完成的基片上加工出压电驱动模块安装槽，压电驱动模块安装槽为回形结构，外槽为10mm×10mm～90mm×90mm，槽宽为5mm～20mm，槽深为0.2mm～3mm，以基片中心对称分布；从压电驱动模块安装槽向基片边缘开引线孔，引线孔开孔位置任意，长度由驱动模块安装槽外边到基片侧面垂直距离决定，宽度在0.2mm～1mm之间，深度在0.25mm～3.5mm之间；基片上表面边缘开有封装螺丝孔，且该封装螺丝孔均布；

步骤5，在步骤4中完成的基片表面沉积一层导电金属薄膜，薄膜厚度在20nm～100nm之间；

步骤6，将步骤5中完成镀膜的基片放入光刻胶显影液中，显影1分钟～30分钟，从而去除了光刻胶和除压电驱动模块安装槽底之外的所有金属薄膜；

步骤7，将步骤6完成的压电驱动模块安装槽槽底的导电金属薄膜作为压电驱动模块的下电极，经引线孔引出导线用于电连接；

步骤8，选择压电陶瓷材料按照步骤4加工出的回形安装槽，对应加工出能够嵌入其中的带银电极回形压电驱动模块，且与回形槽有1mm的间隙，回形压电陶瓷块高度与回形槽深度一致，压电驱动模块为锆钛酸铅、掺镧锆钛酸铅或铌镁锆钛酸铅中的任意一种；

步骤9，在步骤7完成的压电驱动模块安装槽内填入步骤8完成的带银电极的回形压电驱动模块，从银电极表面上经引线孔引出导线，用于电连接，用空间用弹性胶固定槽边缘与回形侧面接触的部分；

步骤10，在步骤9完成的压电驱动模块安装后，在上面整体沉积一层对红外线热辐射高反射的薄膜，以提高器件的整体热控制性能，该薄膜为铝或金，薄膜厚度在10nm～50nm之间；

步骤11，在长度、宽度均比基底小10mm、厚度在0.15mm～0.20mm之间的玻璃片一面依次沉积银薄膜、镍铬合金膜、金膜，一面沉积氧化铟锡薄膜，其中银薄膜厚度为15nm～100nm之间、镍铬合金膜厚度为10nm～50nm之间和金膜厚度为10nm～50nm之间，氧化铟锡薄膜的厚度为20nm～50nm，该步骤完成了光学太阳反射器的制作；

步骤12，加工可覆盖在导热基片与光学太阳反射器上的筒状结构的封装盖板，封装盖板采用铝合金、钛或钛合金，封装盖板上开有反射窗和与导热基片对应的封装固定螺孔，其中，封装盖板外框长度与宽度尺寸与基片相同，内框 与光学太阳反射器侧面有0.5mm～1mm的间隙，反射窗边缘厚度在1mm～3mm之间，且与光学太阳反射器有1mm～5mm的间隙，用于放置预紧弹簧；

步骤13，在步骤11完成的光学太阳反射器镀有氧化铟锡薄膜一面朝上，放置到步骤10完成的已经安装了压电驱动模块的基片上面，在上面安放好超弹性合金材料的预紧弹簧，然后盖上步骤12完成的封装盖板，用螺丝固定，发射率可调型光学太阳反射器的制作完成。