[发明专利]波长分离膜和使用该波长分离膜的光通信用滤波器

权利要求书

1.一种波长分离膜，其具有叠层多层第一薄膜、第二薄膜和第三薄膜而形成的结构，该第一薄膜由高折射率材料构成，该第二薄膜由低折射率材料构成，该第三薄膜由具有位于所述高折射率材料的折射率和所述低折射率材料的折射率之间的范围内的中间的折射率的材料构成，该波长分离膜的特征在于：

所述高折射率材料是硅，所述低折射率材料是选自氧化硅、氟化镁和氧化铝中的至少1种，所述具有中间的折射率的材料是选自氧化钛、氧化钽、氧化铌、氧化锆、氧化铪和氧化铝中的至少1种。

2.如权利要求1所述的波长分离膜，其特征在于：

所述第二薄膜或所述第三薄膜以与所述第一薄膜邻接的方式叠层在该第一薄膜上。

3.如权利要求1或2所述的波长分离膜，其特征在于：

所述第三薄膜通过叠层多个薄膜而构成。

4.如权利要求1～3中任一项所述的波长分离膜，其特征在于：

叠层的膜合计在20～50层的范围内。

5.一种光通信用滤波器，其特征在于：

相对于光的入射方向倾斜地配置有权利要求1～4中任一项所述的波长分离膜，使波长在所述波长分离膜的透过波段范围内的光透过，使波长在阻止波段范围内的光反射。

6.如权利要求5所述的光通信用滤波器，其特征在于：

所述波长分离膜相对于光的入射方向倾斜40～50度地配置。