[发明专利]气体注入器和具有气体注入器的膜沉积设备

权利要求书

1.一种气体注入器，其包括：

主体，其经配置以在其中提供内部空间；

供应孔，其形成于所述主体的上表面中以与所述内部空间连通并接收原材料；

多个注入孔，其形成于所述主体的下表面中以与所述内部空间连通并注入所述 原材料；以及

分配板，其安置在所述主体的所述内部空间中将所述内部空间分为连接所述供 应孔的第一区域和连接所述多个注入孔的第二区域，

其中所述分配板包括多个通孔，且所述分配板相对于水平表面以预定角度倾 斜。

2.根据权利要求1所述的气体注入器，其中所述分配板安置在所述内部空间中处于 所述供应孔与所述注入孔之间。

3.根据权利要求2所述的气体注入器，其中所述分配板相对于所述水平表面以从30 度到60度范围内的角度倾斜。

4.根据权利要求1所述的气体注入器，其中所述注入孔包括第一注入孔和第二注入 孔，所述第一和第二注入孔形成于所述主体的下部部分中且在宽度方向上彼此间 隔开；且

所述分配板包括安置在所述供应孔与所述第一注入孔之间的第一分配板以及 安置在所述供应孔与所述第二注入孔之间的第二分配板。

5.根据权利要求4所述的气体注入器，其中所述第一分配板和所述第二分配板垂直 于所述水平表面而安置。

6.根据权利要求1所述的气体注入器，其进一步包括提供于所述主体内部以将所述 原材料气化的加热单元。

7.一种膜沉积设备，其包括：

腔室；

衬底支撑件，其安置在所述腔室的下部部分中以支撑衬底；以及

气体注入器，其面向所述衬底支撑件，

其中所述气体注入器包括：

主体，其经配置以在其中提供内部空间；

供应孔，其形成于所述主体的上表面中以与所述内部空间连通并接收原材 料；

多个注入孔，其形成于所述主体的下表面中以与所述内部空间连通并注入 所述原材料；以及

分配板，其安置在所述主体的所述内部空间中将所述内部空间分为连接所 述供应孔的第一区域和连接所述多个注入孔的第二区域，

其中所述分配板包括多个通孔，且所述分配板相对于水平表面以预定角度 倾斜。

8.根据权利要求7所述的膜沉积设备，其中所述分配板相对于所述水平表面以从30 度到60度范围内的角度倾斜。

9.一种气体注入器，其包括：

主体，其经配置以在其中提供内部空间；

供应孔，其形成于所述主体的上表面中以与所述内部空间连通并接收粉末状原 材料；

加热单元，其提供于所述主体内部以将所述粉末状原材料气化；

多个注入孔，其形成于所述主体的下表面中以与所述内部空间连通并注入所述 原材料；以及

分配板，其安置在所述主体的所述内部空间中将所述内部空间分为连接所述供 应孔的第一区域和连接所述多个注入孔的第二区域，

其中所述分配板相对于水平表面以预定角度倾斜。

10.一种气体注入器，其包括：

主体，其经配置以在其中提供内部空间；

供应孔，其形成于所述主体的上表面中以与所述内部空间连通并接收粉末状原 材料；

加热单元，其提供于所述主体外部以将所述粉末状原材料气化；

多个注入孔，其形成于所述主体的下表面中以与所述内部空间连通并注入所述 原材料；以及

分配板，其包括多个通孔，所述分配板安置在所述供应孔和所述多个注入孔之 间的所述内部空间，且所述分配板相对于水平表面以预定角度倾斜。