[发明专利]全息光栅制作中实时监测曝光量的方法

权利要求书

1.全息光栅制作中实时监测曝光量的方法，是通过在光栅基底 表面涂有光致刻蚀剂，在干涉场内曝光形成潜像光栅，通过监测潜像 光栅的衍射光的能量变化曲线监测曝光量；其特征在于：步骤一，配 备一套全息光栅曝光装置；包括记录激光器(11)、平面反射镜(12)、 空间滤波器(13)、准直反射镜(14)、第一调整反射镜(15)、第二调整反 射镜(16)和光栅基底(20)；在记录激光器(11)的激光束传播方向的光轴 上置有平面反射镜(12)，平面反射镜(12)与光轴成45°角安装；在平 面反射镜(12)的反射光的光路上置有空间滤波器(13)，经过空间滤波 器(13)后形成球面波；在球面波传播方向放置准直反射镜(14)，并且 准直反射镜(14)的焦点位置位于球面波波源点，球面波波源点的位置 在空间滤波器(13)的出口处，这样激光束经准直反射镜(14)后变为准 直光束；在准直光束区域放置第一调整反射镜(15)和第二调整反射镜 (16)，该准直光束经过第一调整反射镜(15)和第二调整反射镜(16)反射 后分别变为第一束记录光(17)和第二束记录光(18)，这两束记录光的 交汇区域形成了干涉场(19)；在干涉场(19)内放置光栅基底(20)，光栅 基底(20)的位置就是全息光栅的曝光位置；步骤二，配备一套精确控 制全息光栅曝光量实时监测装置；在步骤一所配备的全息光栅曝光装 置中又加入了监测激光器(21)、光栅基底上形成的潜像光栅(22)、光 电接收器(23)、数据处理系统(24)和显示器(25)，形成了全息光栅曝光 量实时监测装置；监测激光器(21)的激光照射在潜像光栅(22)上，在 潜像光栅(22)的衍射光方向放置光电接收器(23)，用以接收潜像光栅 (22)的衍射光，并且光电接收器(23)只对监测光波长敏感而对记录光 波长不敏感，光电接收器(23)接收到的信号经过数据处理系统(24)处 理后在显示器(25)上显示衍射光的强弱变化曲线，利用该装置监测全 息光栅的曝光量，曝光量从显示器(25)上显示的潜像光栅(22)的衍射 光强弱变化得出；步骤三，潜像光栅的制备并进行曝光量的实时监测； 将涂有光致抗蚀剂的光栅基底(20)置入全息光栅曝光量实时监测装 置中干涉场(19)内光栅基底(20)的位置被曝光后，在光栅基底(20)表面 形成潜像光栅(22)；该潜像光栅(22)在监测激光器(21)的激光束照射 下，产生的衍射光波被光电接收器(23)接收，并经数据处理系统(24) 处理后显示在显示器(25)上；利用该全息光栅曝光量实时监测装置对 潜像光栅(22)进行曝光全程实时监测，记录全程曝光量实时监测曲 线；步骤四，确定曝光截止点；观察显示器(25)记录的潜像光栅衍射 光能量变化曲线，当全程曝光量实时监测曲线达到全局最大值位置时 确定为曝光截止点，此时停止曝光。