[发明专利]具有导电机械停止器的MEMS微开关

权利要求书

1.一种MEMS开关，包括：

衬底；

耦接到该衬底的活动致动器；

衬底接触；

衬底电极；和

导电停止器，其经由导电迹线电耦接到该活动致动器，并被构 造为防止该活动致动器与衬底电极接触，但允许该活动致动器与衬底 接触形成接触。

2.如权利要求1所述的MEMS开关，其中该活动致动器和衬底电极 与衬底电隔离。

3.如权利要求1所述的MEMS开关，其中该活动致动器包括导电梁。

4.如权利要求3所述的MEMS开关，其中该活动致动器包括导电 悬臂梁。

5.如权利要求3所述的MEMS开关，其中该导电停止器具有比该导 电梁的电阻率更高的电阻率。

6.如权利要求1所述的MEMS开关，其中该衬底电极由导体构成。

7.如权利要求1所述的MEMS开关，其中该导电停止器位于该衬底 上，并且衬底电极位于该导电停止器和该衬底接触之间。

8.如权利要求7所述的MEMS开关，其中导电停止器被构造为使得 在该活动致动器和该衬底接触形成接触之前和该导电停止器形成接 触。

9.如权利要求1所述的MEMS开关，进一步包括导电迹线，该导电 迹线电耦接到该活动致动器并位于衬底上上，至少部分在该活动致动 器下方。

10.如权利要求9所述的MEMS开关，进一步包括在衬底和衬底电 极之间的隔离层，其中该导电迹线位于该衬底和该隔离层之间。

11.如权利要求9所述的MEMS开关，其中该导电停止器和该活动 致动器集成在一起，以便当该活动致动器被致动时，该导电停止器和 该导电迹线接触。

12.一种MEMS开关，包括：

衬底；

耦接到该衬底的活动致动器；

衬底接触；

衬底电极；和

导电停止器，其位于所述衬底上并且电耦接到该活动致动器，从 而使得该导电停止器和活动致动器保持相同的电位。

13.如权利要求12所述的MEMES开关，其中所述衬底电极位于所 述导电停止器和衬底接触之间。

14.如权利要求12所述的MEMS开关，其中所述活动致动器和所 述衬底电极与所述衬底电隔离。

15.如权利要求12所述的MEMS开关，其中该活动致动器包括导电 梁。

16.如权利要求15所述的MEMS开关，其中该活动致动器包括导 电悬臂梁。

17.如权利要求15所述的MEMS开关，其中该导电停止器具有比该 导电梁的电阻率更高的电阻率。

18.一种MEMS开关，包括：

衬底；

耦接到该衬底并包括导电停止器的活动致动器；

衬底接触；

衬底电极；和

导电迹线，该导电迹线电耦接到该活动致动器并位于衬底上、至 少部分在该活动致动器下方，以便该导电停止器与该导电迹线形成电 接触，并且当开关被致动时该活动致动器与该衬底接触形成电接触。

19.一种形成在共用衬底上的MEMS开关阵列，包括：

耦接到该衬底的第一活动致动器；

耦接到该衬底的第二活动致动器；

位于衬底上、至少部分在第一和第二活动致动器下方的衬底 电极；

衬底接触，其位于衬底上、至少部分在第一和第二活动致动 器下方，以便该第一和第二活动致动器基于衬底电极的状态与衬底接 触形成电接触；和

至少一个导电停止器，其经由导电迹线电耦接到该活动致动 器，并且被构造为防止该活动致动器与该衬底电极接触，但允许该活 动致动器与该衬底接触形成接触。