[发明专利]图案形成装置

权利要求书

1.一种图案形成装置，其将载置于搬运平台的基板沿主扫描方向搬运，并从设于在与所述主扫描方向正交的副扫描方向上并排设置的滑架的液滴喷头上的各喷嘴喷出作为液滴的功能液，而在所述基板上形成图案，

所述图案形成装置的特征在于，具备：

第一异物检测传感器，其设有沿所述基板的上表面射出第一检测光的第一投光部和接受所述第一检测光的第一受光部，该第一投光部和该第一受光部夹着所述搬运平台的搬运路径而设置，基于所述第一受光部接受的受光量来检测附着于所述基板的异物；

第二异物检测传感器，其设有沿所述基板的上表面射出第二检测光的第二投光部和接受所述第二检测光的第二受光部，该第二投光部和该第二受光部夹着所述搬运平台的搬运路径而设置，基于所述第二受光部接受的受光量来检测附着于所述基板的异物，

并且，使所述第一投光部和所述第二投光部夹着所述搬运路径而设于相反侧，并且使所述第一及第二检测光的光轴向所述基板侧倾斜，而由所述基板反射所述第一检测光的一部分及所述第二检测光的一部分，

所述第一受光部通过接受所述第一检测光中的直接入射至所述第一受光部的光和由所述基板反射后入射至所述第一受光部的光，而检测所述异物，

所述第二受光部通过接受所述第二检测光中的直接入射至所述第二受光部的光和由所述基板反射后入射至所述第二受光部的光，而检测所述异物。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

设有：第一基板检测传感器、第二基板检测传感器及异物检测传感器控制机构，

所述第一基板检测传感器检测所述基板位于所述第一检测光的光轴的正下方的情况；

所述第二基板检测传感器检测所述基板位于所述第二检测光的光轴的正下方的情况；

所述异物检测传感器控制机构基于来自所述第一基板检测传感器的检测信号来驱动控制所述第一异物检测传感器，并且基于来自所述第二基板检测传感器的检测信号来驱动控制所述第二异物检测传感器。

3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于，

设有搬运平台异物检测传感器，其检测所述搬运平台的上表面的异物。

4.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

设有检查单元，其独立于所述搬运平台地沿所述主扫描方向往复运动，并且移动配置于所述液滴喷头的正下方，进行从所述液滴喷头喷出的液滴的检查；

还设有检查单元异物检测传感器，其检测所述检查单元中的异物。