[发明专利]切削工具用硬质被膜、硬质被膜覆盖的切削工具、硬质被膜的制造方法及硬质被膜形成用靶有效
| 申请号： | 200810190347.1 | 申请日： | 2001-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101509120A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司;佐藤俊树;森川恭臣;花栗孝次;高原一树 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切削 工具 硬质 覆盖 制造 方法 形成 | ||
【权利要求书】：
1.一种硬质被膜形成用靶，其特征在于，相对密度在95％以上，由 (Ti1-x-y-z-w，Alx，Cry，Siz，Bw)构成，满足0.5≤x≤0.8、0.06≤y≤0.20、0 ≤z≤0.1、0≤w≤0.1、0≤z+w≤0.1、x+y+z+w＜1，
其中，x、y、z、w分别表示Al、Cr、Si、B的原子比。
2.根据权利要求1所述的硬质被膜形成用靶，其特征在于，上述靶 中存在的空孔的大小为半径小于0.3mm。
3.根据权利要求1或2所述的硬质被膜形成用靶，其特征在于，氧 的含量为0.3质量％以下，氢的含量为0.05质量％以下，且氯的含量为 0.2质量％以下。
4.根据权利要求1所述的硬质被膜形成用靶，其特征在于，Cu的含 量为0.05质量％以下，Mg的含量为0.03质量％以下。
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