[发明专利]时间序列变换脉冲分光计测装置

权利要求书

1.一种时间序列变换脉冲分光计测装置，其具有：

脉冲激光光源；

分割装置，该分割装置将来自该脉冲激光光源的脉冲激光光束分割为激 发用脉冲激光光束和检测用脉冲激光光束；

脉冲光辐射装置，该脉冲光辐射装置通过进行所述激发用脉冲激光的照 射，辐射含有远红外波长区域的波长的脉冲光；

检测装置，该检测装置检测来自试样的反射或透过脉冲光的电场强度的 时间序列信号，所述试样是照射来自该脉冲光辐射装置的脉冲光；

保持试样的试样保持部；

试样部射入射出光学系统，该光学系统将来自脉冲光辐射装置的脉冲光 导向试样，同时将通过进行该照射而从试样反射或透过的脉冲光导向检测装 置侧，其特征在于，

从所述脉冲光辐射装置到所述试样部射入射出光学系统及/或从所述检 测装置到所述试样部射入射出光学系统，将一个或多个平面镜及一个或多个 非球面镜配置为，该非球面镜位于该平面镜之后，并相对于所述试样部射入 射出光学系统位于比所述平面镜更远的位置，利用该平面镜使脉冲光朝向所 述非球面镜折返，被该非球面镜反射的脉冲光导向所述试样部射入射出光学 系统。