[发明专利]硅材料清洗装置

说明书

技术领域

本发明属于电子、电气零部件用的材料的清洗装置技术领域，具体涉及一种硅材料清洗装置。

背景技术

目前，对硅材料的表面清洗通常采用敞口的酸洗槽，人工将硅材料块或将装有硅材料块的容器如篮子放入酸洗槽，再由手工频繁翻搅硅材料块。由于在整个酸洗过程中，会产生大量的氟化氢(HF)和二氧化氮(NO₂)等有害气体，因此采用吸风罩进行排风，吸风罩大体上对应于酸洗槽的敞口部位的上方，由吸风罩吸取的前述有害气体引入废气处理装置处理。

上述处置方式存在以下欠缺：首先，由于是敞开式酸洗，因此在整个过程中HF和NO₂等有害气体不可能由吸风罩彻底吸除，部分弥散在作业现场的空气中，对在线作业的工人的身体构成危害，对环境的保护造成影响；其次，为了尽可能地使吸风罩更多地吸除有害气体，因此吸风罩的排风量较大，从而给后续的废气处理装置增加处理难度和处理成本。

发明内容

本发明的任务是要提供一种有利于保护操作者健康、有助于保护环境、有益于减轻废气处理成本和处理难度的硅材料清洗装置。

本发明的任务是这样来完成的，一种硅材料清洗装置，它包括一酸洗槽，该酸洗槽的上方配有一活动盖，而酸洗槽一侧的近底部设有一排水管，一盛料滚筒，以卧置状态地设在所述的酸洗槽内，具有一物料门；一盛料滚筒驱动机构，与所述的盛料滚筒传动联结；一酸洗液高位贮槽，配置在所述的酸洗槽的上方，并且由第一管路与酸洗槽相通；一酸洗液低位贮槽，配置在所述的酸洗槽的一侧，并且由第二管路与酸洗槽相通；一用于将酸洗液低位贮槽中的酸洗液提升到所述的酸洗液高位贮槽内的酸洗液提升机构，分别与酸洗液高位贮槽和酸洗液低位贮槽相通；一进水管路，联结在酸洗槽的上部并且伸入到酸洗槽内；一空气置换机构，与所述的酸洗槽环通联结，所述的空气置换机构包括第五、第六、第七、第八管路、第三电机和风机，第五管路的一端与第六管路的一端联结，第五管路的另一端接续在酸洗槽的一侧上部并且与酸洗槽相通，第六管路的另一端与风机的出风口连接，第七管路的一端与第六管路联结并且与第六管路相通，另一端与废气处理装置联结，第八管路的一端与风机的进风口相接，另一端接至酸洗槽的另一侧上部并且与酸洗槽相通，第三电机与风机相配接，其中：所述的第六管路上设有第五、第六阀门，所述的第七管路上设有第七阀门。

在本发明的一个具体的实施例中，所述的排水管的管路上设有第一阀门。

在本发明的另一个具体的实施例中，所述的盛料滚筒为鼠笼式滚筒或筛网式滚筒，盛料滚筒的滚筒轴的两端各通过轴承座枢设在酸洗槽的对应壁体上并且与所述的盛料滚筒驱动机构联结，所述的物料门设在盛料滚筒的长度方向的中部。

在本发明的还一个具体的实施例中，所述的盛料滚筒驱动机构包括第一电机和减速机，第一电机与减速机配接，减速机的末级动力输出轴通过联轴节与所述的滚筒轴联结。

在本发明的再一个具体的实施例中，所述的第一管路上配设有第二阀门。

在本发明的又一个具体的实施例中，所述酸洗液提升机构包括第二电机、液泵和第三、第四管路，液泵与第二电机相配接，第三管路的一端与液泵的出液口相接，另一端伸展到酸洗液高位贮槽中，第四管路的一端与液泵的进液口相接，另一端伸入到酸洗液低位贮槽中。

在本发明的更而一个具体的实施例中，所述的进水管路所伸入到酸洗槽内的一端间隔设置有喷淋头，并且在进水管路所位于酸洗槽外的一端设置有第三阀门。

在本发明的进而一个具体的实施例中，所述的第二管路上设有第四阀门。

在本发明的又进而一个具体的实施例中，所述的第五管路与第六管路相连接的连接部位位于所述的第五、第六阀门之间。

本发明所提供的技术方案的优点：在酸洗槽上配有活动盖，能使已有技术中的敞开式酸洗变为封闭式酸洗，酸洗过程中的有害气体不会对操作工人构成影响而且对环境有益；由于在酸洗槽内设置由盛料滚筒驱动机构驱动的盛料滚筒，从而无需由工人对被酸洗工件翻动，可减轻工人的劳动强度和提高酸洗效率；空气置换机构既能使酸洗槽内的废气在打开活动盖之前实施置换，又能将酸洗过程中的废气引至废气处理装置处理。

附图说明

附图为本发明的一个具体的实施例结构图。

具体实施方式