[发明专利]高灵敏度与高选择性气体传感器

权利要求书

1.一种高灵敏度与高选择性气体传感器，包括：进气口，气体样品由 此进入传感器；气泵，该气泵用来输送所述气体样品；气敏元件，该气敏 元件对所述气体样品检测，检测信号主要包括被测气体的贡献；过滤器， 该过滤器除去所述气体样品中的被测气体；样品室：用于存储部分所述气 体样品；控制阀，控制所述气体样品的气流方向与压力；出气口，所述气体 样品由此离开传感器；其特征在于：

所述样品室为能够避免气体沿流动方向混合的活塞流装置，包括细长 管道、设有挡板的流动装置、列管流动装置或者所述传感器内部的所有气 体空间；

所述气泵、气敏元件、样品室、过滤器和控制阀在进气口与出气口之 间形成循环气路，对同一气体样品在相同的温度、湿度、压力、气流条件 下进行两次测量：

一次测量：气体样品从进气口流经控制阀到气泵，进入气敏元件进行 检测，经气敏元件检测的气体连续进入样品室，并推动内部原来存在的其 它气体以活塞流的方式通过控制阀经出口放空，从而完成气敏元件对含有 被测气体的气体样品的测量；

二次测量：由控制阀分别关闭进、出气口，通过气泵驱动样品气体由 样品室到过滤器除去被测气体，然后到气敏元件进行检测，从而完成气敏 元件对除去被测气体的气体样品的测量；

对被测气体的检测结果是两次测量的差值。

2.如权利要求1所述的高灵敏度与高选择性气体传感器，其特征在于：

所述过滤器用来去除被测气体，去除的效率保证其残余量不足以引起 气敏元件可检测的信号；也允许去除其它对气敏元件无信号贡献的气体； 所述过滤器由固态或液态的吸附剂或催化剂构成。