[发明专利]微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法无效
| 申请号： | 200810196741.6 | 申请日： | 2008-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101419044A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 费业泰;王晨晨;尚平 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B5/008 | 分类号： | G01B5/008 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 三维 测量 331 系统 及其 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.微纳米级三维测量“331”系统，其特征是系统构成为：
设置三维测量系统的X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以所述交点为坐标原点，建立三维坐标系；
设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面，从而建立三维共平面测量平台；
设置所述X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面、测量面三面的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；
设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合；
所述测量系统的测量平台由X向滑座(1)、Y向滑座(2)、工作滑台(3)和Z向可调工作台(4)以由外向内逐一嵌套的结构形式组成；其中，X向滑座(1)和Y向滑座(2)之间的X导轨面(11)与Y向滑座(2)和工作滑台(3)之间的Y导轨面(12)与测头中心所在的测量面处在同一面上，被测工件放在嵌套在工作滑台(3)中的Z向可调工作台(4)上。
2.一种权利要求1所述微纳米级三维测量“331”系统的测量方法，其特征是锁定测头位置，固定在测量平台上的被测件随着测量平台的运动，并向测头逼近实现测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥工业大学，未经合肥工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810196741.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
