[发明专利]一种精密减振组件及由其构成的减振平台有效
| 申请号： | 200810196984.X | 申请日： | 2008-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101398636A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;蒲华燕;姜伟;孙翊;罗欣;李小平;曾理湛 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/023 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精密 组件 构成 平台 | ||
1、一种精密减振组件，其特征在于：机架(1)为中空圆柱形，机架(1)的侧壁上开有进气孔(2)，在机架(1)侧壁下方分别布置有多个排气道(4)，机架(1)的底部开有用于连接外接气源的进气口(10)；活塞杆(6)为圆柱形，其剖面成H型；活塞杆(6)位于机架(1)内；在机架(1)与活塞杆(6)之间形成一层柱面压力气膜(3)；进气孔(2)、柱面压力气膜(3)和排气道(4)构成柱面气浮轴承；
活塞杆(6)内包含上、下腔体，其中一个腔体中安装有气囊(5)，另一个腔体密封构成压力腔；该压力腔与气囊(5)之间开有阻尼调节孔(14)，位于下腔体的压力腔或气囊(5)与进气口(10)相连；
端面气浮轴承定子(13)固定在活塞杆(6)的上端部，端面气浮轴承动子(16)位于端面气浮轴承定子(13)的上方；节流孔(15)内嵌在端面气浮轴承定子(13)上，与位于活塞杆(6)上部的压力腔或气囊(5)相通，在端面气浮轴承定子(13)与端面气浮轴承动子(16)之间形成一层端面压力气膜(17)，端面气浮轴承动子(16)通过端面压力气膜(17)悬浮在端面气浮轴承定子(13)之上；端面气浮轴承动子(16)与柔性铰(8)固定连接；
音圈电机包括音圈电机定子(18)和音圈电机动子(19)，音圈电机定子(18)与机架(1)端部固定连接，音圈电机动子(19)与端面气浮轴承动子(16)固定连接。
2、根据权利要求1所述的精密减振组件，其特征在于：气囊(5)位于活塞杆(6)的下腔体内，气囊(5)的底部与机架(1)固定连接，气囊(5)的进气口(9)与外接气源的进气口(10)相通；活塞杆(6)由气囊(5)支承，活塞杆(6)的上端面与端面气浮轴承定子(13)固定连接形成压力腔(7)。
3、根据权利要求1所述的精密减振组件，其特征在于：气囊(5)位于活塞杆(6)的上腔体内。
4、一种由权利要求1、2或3所述精密减振组件构成的减振平台，其特征在于：它包括至少三个精密减振组件，各精密减振组件成多边形布置。
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