[发明专利]基于原子力显微镜的精确定位方法无效
申请号: | 200810197696.6 | 申请日: | 2008-11-19 |
公开(公告)号: | CN101413865A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 李立家;马璐 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 |
主分类号: | G01N13/16 | 分类号: | G01N13/16;G12B21/20 |
代理公司: | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人: | 刘 荣 |
地址: | 43007*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 原子 显微镜 精确 定位 方法 | ||
1.一种基于原子力显微镜的精确定位方法,其特征在于包括以下步骤;
(1)在光学显微镜下找到待测样品;
(2)在光学显微镜下将具有网格的薄片放到待测样品上方,记下样品 所在的区域,利用吸附力将具有网格的薄片吸到样品的基底上;
(3)将附着了薄片的基底用双面胶粘贴到原子力显微镜载物台上;
(4)用原子力显微镜扫描薄片,逐级缩小扫描范围,将原子力显微镜 的探针定位在步骤(2)中记录的样品所在的区域,即待测样品对应格 子的上方,即实现了对待测样品的精确定位;
(5)用洗耳球将具有网格的薄片轻轻吹开,即可下针进行准确的原子 力显微镜的观察。
2.根据权利要求1所述基于原子力显微镜的精确定位方法,其特征在于: 具有网格的薄片为具有网格的金片,铝片和镍片。
3.根据权利要求1所述基于原子力显微镜的精确定位方法,其特征在于: 所用薄片的每个网格大小为500×500nm。
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