[发明专利]一种氮化镓外延层转移方法

权利要求书

1.一种氮化镓外延层转移方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1.在附有基体的氮化镓层表面镀覆金属层；

步骤2.将上述基体嵌入模具中并使金属层处于模具内侧；

步骤3.用树脂填充模具与基体之间的空隙；

步骤4.将上述模具浸入腐蚀液，至基体完全被腐蚀，所述模具的密度小于腐蚀液的密度，所述基体是以外力控制模具在腐蚀液中的位置以控制腐蚀的速度，所述外力是磁力或机械力。

2.如权利要求1所述的氮化镓外延层转移方法，其特征在于所述模具是由硬质的高耐腐蚀的材料组成。

3.如权利要求2所述的氮化镓外延层转移方法，其特征在于所述硬质的高耐腐蚀的材料是环氧类树脂、酚醛树脂、糠醛树脂、有机硅树脂、聚碳酸酯树脂、丙烯腈/丁二烯/苯乙烯共聚物树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚酰胺树脂、聚氨酯热塑性弹性体树脂或其改性物质。

4.如权利要求1或2或3所述的氮化镓外延层转移方法，其特征在于所述的模具中设有磁石。

5.如权利要求1所述的氮化镓外延层转移方法，其特征在于步骤3中所述的树脂为具有耐硝酸和氢氟酸混合酸腐蚀特性的有机树脂。

6.如权利要求5所述的氮化镓外延层转移方法，其特征在于所述有机树脂是环氧树脂胶、丙烯酸酯树脂胶、聚氨酯树脂胶、有机硅树脂胶、酚醛树脂胶或氯醋树脂胶。