[发明专利]镜头校验方法及系统有效

专利信息
申请号: 200810200271.6 申请日: 2008-09-23
公开(公告)号: CN101685251A 公开(公告)日: 2010-03-31
发明(设计)人: 吕秋玲;赵庆国;黄臣;高燕 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G03B43/00 分类号: G03B43/00;H01L21/66
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 镜头 校验 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种镜头校验方法,其特征在于,包括:

获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息,所述基元是封装前的集成电路;

采用待校验镜头检测待检测基元,得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息;

获得调整参数信息,所述获得调整参数信息具体包括:先获得待检测基元的规定检测区域所对应的校正特征参数信息;然后根据规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息,和各自的校正特征参数信息,获得调整参数信息;

根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息,调整实际检测区域,使其与规定检测区域重合。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述位置信息为区域内基准点的位置信息;以及所述获得调整参数信息具体包括:

计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值;

将所述差值确定为调整参数信息。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述位置信息为区域内基准点的位置信息;以及所述获得调整参数信息具体包括:

计算实际检测区域基准点位置和规定检测区域基准点位置的偏移量;

将所述偏移量,确定为调整参数信息。

4.如权利要求1~3中任一项所述的方法,其特征在于,还包括在得到校正特征参数前,选择校正特征参数的步骤。

5.一种镜头校验系统,其特征在于,包括:

第一信息获得单元,用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息,所述基元是封装前的集成电路;

第二信息获得单元,用于采用待校验镜头检测待检测基元,得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息;

调整参数获得单元,用于获得调整参数信息,所述调整参数获得单元具体包括:用于获得待检测基元的规定检测区域所对应的校正特征参数信息的子单元;以及用于根据规定检测区域和实际检测区域各自的位置信息,和各自的校正特征参数信息,获得调整参数信息的子单元;

校验单元,用于根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息,调整实际检测区域,使其与规定检测区域重合。

6.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述位置信息为区域内基准点的位置信息;以及所述获得调整参数信息的子单元,具体包括:

用于计算实际检测区域和规定检测区域的校正特征参数的差值的子单元;

用于将所述差值确定为调整参数信息的子单元。

7.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述位置信息为区域内基准点的位置信息;以及所述获得调整参数信息的子单元,具体包括:

用于计算实际检测区域基准点位置和规定检测区域基准点位置的偏移量的子单元;

用于将所述偏移量,确定为调整参数信息的子单元。

8.如权利要求5~7中任一项所述的系统,其特征在于,还包括用于在得到校正特征参数前,选择校正特征参数的单元。

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