[发明专利]光学系统对心装调的装置和方法有效
申请号: | 200810200907.7 | 申请日: | 2008-10-08 |
公开(公告)号: | CN101387761A | 公开(公告)日: | 2009-03-18 |
发明(设计)人: | 周辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B27/62 | 分类号: | G02B27/62;G02B27/00;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学系统 对心 装置 方法 | ||
1.一种光学系统对心装调装置,所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台,其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准,其特征在于:所述自准直显微镜包括照明模块,带刻丝的掩膜板,调焦物镜组,显微物镜组,测量分划板,显微目镜组,所述转台用于放置被检透镜,所述自准直显微镜还包括CCD,显微目镜组为目视通道,CCD为光电通道,所述目视通道在调整方式时工作,所述光电通道在自动方式时工作,其中所述自准直显微镜还包括分光棱镜、半透半反镜,所述照明模块由反射聚光镜、灯泡和聚光透镜组成,用以发出平行光束,该光束照在带刻丝的掩膜板的平面上,从刻丝透过的光线经分光棱镜反射,通过调焦物镜组成像在被检透镜上,从被检透镜反射回的光线依次经过调焦物镜组,分光棱镜和显微物镜组,再经过半透半反镜分别进入目视通道或进入光电通道成像。
2.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述空气轴承的主轴精度小于等于0.1μm,保证所述光学系统对心装调装置的偏心测量精度和镜片装调精度。
3.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述自准直显微镜设置于导轨支架上并可上下移动以适应被检透镜不同曲率半径的要求。
4.根据权利要求3所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述导轨支架上安装有光栅尺,用于测量被检透镜的厚度、曲率半径、焦长。
5.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述调焦物镜组的位置可以沿着所述自准直显微镜的光轴移动调整来改变所述自准直显微镜的焦距,所述调整使用电机驱动或者手动调整。
6.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述显微物镜组的放大倍率为30-60倍。
7.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所用测量分划板的最小格值在1-5μm范围内。
8.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述空气轴承的主轴为气浮轴承,该主轴由电机驱动,所述电机的转速在0-1500之间调整。
9.根据权利要求1所述的光学系统对心装调装置,其特征在于:所述转台上设置有调整装置用于对被检透镜进行倾斜和径向调整。
10.一种光学系统对心装调的方法,其特征在于:使用权利要求1所述的光学系统对心装调装置,当移动整个自准直显微镜或调焦物镜组使被检透镜被测面的球心与显微镜自准直点对准时,掩膜板的像就从被测镜片表面反射,然后成像于测量分划板的表面上,并在目视通道或光电通道被观察到,通过判断该目视通道或光电通道得到的成像效果,实时得到被测镜片的对心精度,并根据所成像对被检透镜进行调整,完成光学透镜的对心装调。
11.根据权利要求10所述的光学系统对心装调方法,其特征在于:该方法包括转动所述空气轴承的主轴,若被测镜片存在偏心或者倾斜,测量分划板上成的像会划成一个圆,划圆量用于反映偏心及倾斜的大小,然后根据该划圆量对透镜进行倾斜和径向调整,使得划圆量为零,从而完成对心装调。
12.根据权利要求10所述的光学系统对心装调方法,其特征在于:被检透镜为单个或多个镜片。
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