[发明专利]纳米硅粉的制备方法有效
申请号: | 200810201671.9 | 申请日: | 2008-10-23 |
公开(公告)号: | CN101423217A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | 俞月明;夏亮 | 申请(专利权)人: | 俞月明;夏亮 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 郑 玮 |
地址: | 200093上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及制备纯硅的方法。
背景技术
纯硅(Si),是一种重要的工业原料,在电子器件的制备领域,有十分重要且广泛的应用。
目前,常规的纯硅(Si)的制备方法,如:
(1)西门子法,该方法采用氯和合金硅在高温下合成三氯氢硅SiHCl3,副产品四氯化硅和氯气,严重污染环境,并且,需要使用大量碳燃料,在高温下反应合成三氯氢硅和四氯化硅时,将产生大量二氧化碳和氯气,排放到大气中,将增加环境的负担;
(2)改良西门子法,该方法在节能上有所改善,但是,该方法使用氟化物在高温下合成氟化硅(SiF4),有大量的硫和氟被排放,严重污染环境;
(3)硅烷法,该方法在节能上得到进一步改善,但是操作难度大,难以杜绝产业化过程中的跑、冒、漏、滴现象。生产硅烷同时还有氯化硅等有毒的副产品,而硅烷(SiH4)在空气中就能自燃,安全系数低。
(4)磷化学法,该方法采取磷化合物制备纯硅过程中,排放的废水富磷给江河带来“绿藻”泛滥后患,且水体氧含量下降对渔业(包括其他水中经济生物)生态失衡令人不安。
发明内容
本发明的目的是提供一种以氧化硅为原料制备纯硅的方法,以克服现有技术存在的上述缺陷。
本发明的方法,包括如下的SiO2介孔结构材料的制备步骤:
(1)将多聚硅氧烷与水H2O按照1∶0.3~0.5,优选0.4的重量比混合,150~300℃反应20~40分钟,优选30分钟,然后熟化2~8小时,获得SiO2酸式悬浮液;
(2)加入蚀化剂三甲基氯硅烷,180~350℃静置老化处理12~48小时,使SiO2颗粒表面蚀化形成介孔结构;
三甲基氯硅烷的加入重量为多聚硅氧烷的15~30%;
(3)然后加入干燥介质,30~50℃反应12~24小时,然后干燥,挥去干燥介质,室温静置12~24小时,缩聚;
所述干燥介质为己烷、异丙醇和六甲基二硅醚的混合溶液,组分的重量比为:
己烷∶异丙醇∶六甲基二硅醚=1∶1.5~2.5∶2.5~3.5;
干燥介质加入重量为多聚硅氧烷的10~25%;
(4)然后将步骤(3)的缩聚产物常压下置于Ar气氛中,180~210℃烘干,获得透明气凝胶,为一种SiO2介孔结构材料,可作为制备纯硅的原料。
采用上述方法制备的产物,产品的粒径为20~70纳米,粒径分布小,无环境污染,能耗大大降低,具有工业化实施前景。
具体实施方式
实施例1
(1)将多聚硅氧烷与水H2O按照1∶0.4的重量比,150℃反应20分钟,然后熟化2小时,获得SiO2酸式悬浮液;
(2)加入蚀化剂三甲基氯硅烷,180℃静置老化处理12小时,使SiO2颗粒表面蚀化形成介孔结构;
三甲基氯硅烷的加入重量为多聚硅氧烷的15%;
(3)然后加入干燥介质,30℃反应12小时,然后干燥,挥去干燥介质,室温静置12小时,缩聚;
干燥介质为己烷、异丙醇和六甲基二硅醚的混合溶液,组分的重量比为:
己烷∶异丙醇∶六甲基二硅醚=1∶2.5∶3.5;
干燥介质加入重量为多聚硅氧烷的10%;
(4)然后将步骤(3)的缩聚产物常压下置于Ar气氛中,180℃烘干,获得透明气凝胶,为一种SiO2介孔结构材料,可作为制备纯硅的原料。
对产物进行检测,平均粒径为20纳米。
实施例2
(1)将多聚硅氧烷与水H2O按照1∶0.4的重量比,300℃反应40分钟,然后熟化8小时,获得SiO2酸式悬浮液;
(2)加入蚀化剂三甲基氯硅烷,350℃静置老化处理48小时,使SiO2颗粒表面蚀化形成介孔结构;
三甲基氯硅烷的加入重量为多聚硅氧烷的30%;
(3)然后加入干燥介质,50℃反应24小时,然后干燥,挥去干燥介质,室温静置24小时,缩聚;
干燥介质为己烷、异丙醇和六甲基二硅醚的混合溶液,组分的重量比为:
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