[发明专利]用提拉法生长铝酸锂晶体的装置无效
| 申请号： | 200810202606.8 | 申请日： | 2008-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101418468A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 周圣明;林辉;王军;滕浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用提拉法 生长 铝酸锂 晶体 装置 | ||
1、一种用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，包括一台提拉法生长单晶炉，其特征在于：该单晶炉的保温罩(6)侧壁是完整的，不设观察窗，在与观察窗口相对的炉壁上通过支架架设一块观察镜(2)于所述的保温罩(6)的上方，以便通过所述的观察镜的反射实现对所述的铱坩埚内熔体界面的观察。
2、根据权利要求1所述的用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，其特征在于：该装置包括一台提拉法生长单晶炉，在炉壁(1)构成的炉膛内有托盘支架(12)，在该托盘支架(12)上是氧化铝托盘(11)，在该氧化铝托盘(11)上设置石英桶(9)和铱坩埚(8)，在所述的铱坩埚(8)上装有圆筒形铱后热器(7)，在该铱后热器(7)之外设置圆筒形氧化锆保温罩(6)，在所述的石英桶(9)和铱坩埚(8)、圆筒形氧化锆保温罩(6)之间填充氧化锆保温砂(10)，在所述的石英桶(9)之外是感应线圈(13)，所述的炉壁(1)有炉壁观察窗口(14)，其特征在于：所述的圆筒形氧化锆保温罩(6)侧壁是完整的，不设观察窗，在与所述的炉壁观察窗口(14)相对的炉壁(1)上通过观察镜支架(3)架设一块观察镜(2)于圆筒形氧化锆保温罩(6)的上方，以便通过所述的观察镜(2)的反射实现对所述的铱坩埚(8)内熔体界面的观察。
3、根据权利要求2所述的用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，其特征在于：所述的圆筒形氧化锆保温罩(6)还有保温罩上盖(4)。
4、根据权利要求3所述的用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，其特征在于：所述的保温罩上盖(4)是由透明材料制成的中央开孔的圆盘片。
5、根据权利要求4所述的用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，其特征在于：所述的保温罩上盖(4)为双面抛光的蓝宝石圆片、双面抛光的镁铝尖晶石圆片、双面抛光的石英圆片或双面抛光的钇铝石榴石圆片。
6、根据权利要求2至5任一项所述的用提拉法生长铝酸锂晶体的装置，其特征在于：所述的观察镜(2)为抛光铜片镀银平面镜、石英玻璃镀银平面镜、K9玻璃镀银平面镜、抛光铜片镀银微凸镜面、石英玻璃镀银微凸镜面，或K9玻璃镀银微凸镜面。
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