[发明专利]一种多晶硅坩锅平台支撑装置

权利要求书

1.一种多晶硅坩锅平台支撑装置，包括石墨平台和炉底，其特征在于：还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱；所述的上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接；所述的上支撑柱的下端与不锈钢平台连接；所述的下支撑柱的上端与不锈钢平台连接；所述的下支撑柱的下端与炉底固接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的上支撑柱上端与石墨平台连接的方式为销孔方式；所述的上支撑柱的下端与不锈钢平台连接的方式为活动的腰形孔方式；所述的下支撑柱的上端与不锈钢平台连接的方式为活动的腰形孔方式；所述的下支撑柱的下端与炉底固接的方式为焊接方式。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的上支撑柱和下支撑柱的材料为不锈钢；所述的上支撑柱和下支撑柱的形状为圆柱体；所述的上支撑柱和下支撑柱的数量分别为至少3个。

4.根据权利要求1或2所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的上支撑柱和下支撑柱均以不锈钢平台的中心点为中心对称均匀分布；所述的上支撑柱和下支撑柱的位置错开。

5.根据权利要求2所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其体征在于：所述的活动的腰形孔方式为在不锈钢平台开腰形盲孔，将所述的上支撑柱和下支撑柱置于腰形盲孔内。

6.根据权利要求5所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的腰形盲孔的纵方向从不锈钢平台的中心向外，所述的腰形盲孔以不锈钢平台的中心点为中心对称均匀分布。

7.根据权利要求2所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的销孔方式为在石墨平台底部设有销柱，在销柱上开与上支撑柱直径相同的半通孔，将所述的上支撑柱置于半通孔内。

8.根据权利要求7所述的多晶硅坩锅平台支撑装置，其特征在于：所述的半通孔的形状为圆形盲孔或腰形盲孔。