[发明专利]一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关

权利要求书

1.一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于由两个双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成，并固定在一个套筒中、MEMS微镜放置在两个双光纤椭圆光斑准直器出射光束束腰重合的位置上，驱动方向与光斑短轴方向一致，所述的双光纤椭圆光斑准直器，包括光纤、微准直透镜和套筒，双光纤椭圆光斑准直器的束腰光斑为椭圆形，微准直透镜的一个端面为柱面，光纤和微准直透镜外面有一个玻璃管。

2.按权利要求1所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于所述的微准直透镜为在G-lens或C-lens上加工一个柱面光学面，所述的柱面光学面直接加工在G-lens或C-lens的一个端面上，或将微小柱透镜胶合后安装到G-lens或C-lens上。

3.按权利要求1所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于光纤出射光束经微准直透镜后，出射光束的束腰光斑在两个垂直方向上的光斑半径不同：一个方向上的光斑半径为200-300微米，另一个方向上的光斑半径为几微米到几十微米。

4.按权利要求1所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于微准直透镜表面镀增透膜。

5.按权利要求1所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于所述的MEMS微镜为梳齿驱动平面微镜，微镜与梳齿相连成整体，且是由几根梁连接到衬底上，其驱动方向与双光纤椭圆光斑准直器出射光束束腰光斑短轴方向一致。

6.按权利要求5所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于MEMS微镜的驱动行程为双光纤椭圆光斑准直器出射光束束腰光斑短轴半径的2-8倍。

7.按权利要求1、5或6所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于在MEMS微镜的镜面上镀金。

8.按权利要求1所述的基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS开关，其特征在于不同光纤的束腰光斑的长轴与长轴的方向一致，短轴与短轴的方向一致。