[发明专利]射频发生器的离线检测装置有效
申请号: | 200810203536.8 | 申请日: | 2008-11-27 |
公开(公告)号: | CN101736315A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 黄国伟 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;G05F1/66;H03G3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射频 发生器 离线 检测 装置 | ||
1.一种射频发生器的离线检测装置,其特征在于,包括:
接口件,用于连接待测射频发生器并提供信号的传输通道;
控制单元,耦接于所述接口件,用于产生控制待测射频发生器的工作状态 及其输出的信号的控制信号。
2.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元包括: 开关单元,用于控制所述待测射频发生器高频部分开始工作或者停止工 作;
控制电压单元,用于根据工作电压,获得多等级的控制电压;
分级控制单元,用于从所述控制电压单元获得的多等级的控制电压中进行 选择,根据选择结果产生控制信号的分级信号。
3.如权利要求2所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元还包括: 校正单元,用于校正所述选择结果对应的分级信号。
4.如权利要求3所述的离线检测装置,其特征在于,所述校正单元包括: 测试单元,用于测试所述分级信号的实际值;
调整单元,耦接于所述分级控制单元,用于根据所述选择结果调节所述分 级信号的实际值,将其调节至预定值。
5.如权利要求3所述的离线检测装置,其特征在于,所述校正单元包括: 测试单元,用于测试所述分级信号的实际值;
调整单元,耦接于所述控制电压单元,用于根据所述选择结果调整控制电 压,以将所述分级信号的实际值调节至预定值。
6.如权利要求2所述的离线检测装置,其特征在于,所述分级控制单元包 括:分级旋钮开关,用于选择控制电压的等级。
7.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元还包括: 电压处理单元,用于接收电源信号,提供所述离线检测装置各单元工作的 工作电压。
8.如权利要求7所述的离线检测装置,其特征在于,所述电压处理单元耦 接于所述接口件,所述电源信号由所述待测射频发生器提供。
9.如权利要求7所述的离线检测装置,其特征在于,所述电压处理单元包 括:
电源信号单元,用于接收电源信号,提供所述离线检测装置各单元工作的 工作电压;
电路保护单元,耦接于所述电源信号单元,用于避免所述离线检测装置由 于过流现象而产生损坏。
10.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,还包括:测量接口件, 耦接于所述接口件,用于提供待测射频发生器输出信号的测量通道。
11.如权利要求10所述的离线检测装置,其特征在于,所述测量接口件包括:
正向测量接口,用于提供正向输出信号的测量通道;
反馈测量接口,用于提供反馈输出信号的测量通道。
12.如权利要求10所述的离线检测装置,其特征在于,所述离线检测装置还 包括:显示单元,用于与所述测量接口件相连接,显示所述测量接口件的输 出结果。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的