[发明专利]射频发生器的离线检测装置有效

专利信息
申请号: 200810203536.8 申请日: 2008-11-27
公开(公告)号: CN101736315A 公开(公告)日: 2010-06-16
发明(设计)人: 黄国伟 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;G05F1/66;H03G3/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李丽
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 射频 发生器 离线 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种射频发生器的离线检测装置,其特征在于,包括:

接口件,用于连接待测射频发生器并提供信号的传输通道;

控制单元,耦接于所述接口件,用于产生控制待测射频发生器的工作状态 及其输出的信号的控制信号。

2.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元包括: 开关单元,用于控制所述待测射频发生器高频部分开始工作或者停止工 作;

控制电压单元,用于根据工作电压,获得多等级的控制电压;

分级控制单元,用于从所述控制电压单元获得的多等级的控制电压中进行 选择,根据选择结果产生控制信号的分级信号。

3.如权利要求2所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元还包括: 校正单元,用于校正所述选择结果对应的分级信号。

4.如权利要求3所述的离线检测装置,其特征在于,所述校正单元包括: 测试单元,用于测试所述分级信号的实际值;

调整单元,耦接于所述分级控制单元,用于根据所述选择结果调节所述分 级信号的实际值,将其调节至预定值。

5.如权利要求3所述的离线检测装置,其特征在于,所述校正单元包括: 测试单元,用于测试所述分级信号的实际值;

调整单元,耦接于所述控制电压单元,用于根据所述选择结果调整控制电 压,以将所述分级信号的实际值调节至预定值。

6.如权利要求2所述的离线检测装置,其特征在于,所述分级控制单元包 括:分级旋钮开关,用于选择控制电压的等级。

7.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,所述控制单元还包括: 电压处理单元,用于接收电源信号,提供所述离线检测装置各单元工作的 工作电压。

8.如权利要求7所述的离线检测装置,其特征在于,所述电压处理单元耦 接于所述接口件,所述电源信号由所述待测射频发生器提供。

9.如权利要求7所述的离线检测装置,其特征在于,所述电压处理单元包 括:

电源信号单元,用于接收电源信号,提供所述离线检测装置各单元工作的 工作电压;

电路保护单元,耦接于所述电源信号单元,用于避免所述离线检测装置由 于过流现象而产生损坏。

10.如权利要求1所述的离线检测装置,其特征在于,还包括:测量接口件, 耦接于所述接口件,用于提供待测射频发生器输出信号的测量通道。

11.如权利要求10所述的离线检测装置,其特征在于,所述测量接口件包括:

正向测量接口,用于提供正向输出信号的测量通道;

反馈测量接口,用于提供反馈输出信号的测量通道。

12.如权利要求10所述的离线检测装置,其特征在于,所述离线检测装置还 包括:显示单元,用于与所述测量接口件相连接,显示所述测量接口件的输 出结果。

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