[发明专利]低成本大数值孔径的傅立叶透镜系统有效
| 申请号： | 200810204354.2 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101487923A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 关俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/02;G02B17/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低成本 数值孔径 傅立叶 透镜 系统 | ||
1.一种傅立叶透镜系统，其特征在于，从物面至像面沿其光轴方向依次包括：
双凹透镜；
第一凸透镜；以及
第二凸透镜，
其中，该双凹透镜，该第一凸透镜和该第二凸透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米。
2.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统，其中该双凹透镜的材料为ZK7。
3.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统，其中该第一凸透镜的材料为ZF6。
4.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统，其中该第二凸透镜的材料为ZK7。
5.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统，其中该第二凸透镜之后还包括沿光轴排列的第一平面透镜。
6.根据权利要求5所述的傅立叶透镜系统，其中该第一平面透镜采用的材料为ZK11。
7.根据权利要求5所述的傅立叶透镜系统，其中该第一平面透镜之后还包括沿光轴排列的第二平面透镜。
8.根据权利要求7所述的傅立叶透镜系统，其中该第二平面透镜采用的材料为石英玻璃。
9.根据权利要求8所述的傅立叶透镜系统，其特征在于，其中该双凹透镜具有第一表面和第二表面，第一表面的半径为114.425mm，第二表面的半径为370.7mm，该双凹透镜的中心厚度为4mm，半孔径为22.1mm，该第一凸透镜具有第三表面和第四表面，第三表面的半径为851.1mm，第四表面的半径为64mm，该第一凸透镜的中心厚度为8.4mm，半孔径为23.5mm，该第二凸透镜具有第五表面和第六表面，第五表面的半径为82.86mm，第六表面的半径为438.5，该第二凸透镜的中心厚度为8.3mm，半孔径为25.5mm。
10.根据权利要求1所述的傅立叶透镜系统，其中在该傅立叶透镜系统的像面位置，还包括：
第一直角反射镜，位于像面和光轴的交点，将照明光束沿光轴反射；
第二直角反射镜，将照明光束反射至该第一直角反射镜。
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