[发明专利]在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法无效

专利信息
申请号: 200810204378.8 申请日: 2008-12-11
公开(公告)号: CN101474538A 公开(公告)日: 2009-07-08
发明(设计)人: 李海滨 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: B01D69/10 分类号: B01D69/10;B01D71/02
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 王锡麟;王桂忠
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 多孔 表面 溶胶 凝胶 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征在于包括如下步骤:

步骤1:将多孔基板置于支撑垫板上;

步骤2:用密封材料将多孔基板周边或多孔基板底部与垫板连接并密封,只暴露多孔基板的单面;

步骤3:通过单面密封多孔基板,并暴露多孔基板另一面,在多孔基板暴露面涂覆溶胶,使基板孔中的空气受到压缩,而形成气垫,阻止溶胶液体流入孔内部,在基板表面形成均匀无机或无机/有机复合凝胶薄膜;

步骤4:采用烧结热处理、氧等离子处理或臭氧处理方法,去除有机成分,并使薄膜致密化,获得无机薄膜;

所述多孔基板为阳极氧化Al2O3、多孔硅、纳米孔玻璃、径迹蚀刻有机基板中一种;

所述支撑垫板为Si片、玻璃片、塑料板、金属板中一种;

所述密封材料,是指硅胶、有机塑料、石蜡、或环氧树脂密封材料。

2.根据权利要求1所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述在多孔基板暴露面涂覆溶胶,其方法为旋转涂膜:将封有多孔基板的垫板置于旋转涂膜机上,未密封的暴露面向上,然后滴下无机或无机/有机复合溶胶液滴于多孔基板暴露面的表面,启动旋转涂膜机,使旋转涂膜机速度达到100转-10000转/分钟,并保持5秒-10分钟,形成溶胶-凝胶薄膜支撑于基板表面的结构。

3.根据权利要求2所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述旋转涂膜机速度是1000转-6000转/分钟,保持30秒-3分钟。

4.根据权利要求2或3所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述旋转涂膜机速度是3000转/分钟,保持1分钟。

5.根据权利要求1所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述在多孔基板暴露面涂覆溶胶,其方法为提拉涂膜:将封有多孔基板的垫板浸入溶胶液中,以0.1-100厘米/分钟的速度从液体中提拉出垫板,形成溶胶-凝胶薄膜支撑于基板表面的结构。

6.根据权利要求5所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述提拉速度是1-20厘米/分钟。

7.根据权利要求5或6所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述提拉速度是5厘米/分钟。

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