[发明专利]在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法无效
申请号: | 200810204378.8 | 申请日: | 2008-12-11 |
公开(公告)号: | CN101474538A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
发明(设计)人: | 李海滨 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | B01D69/10 | 分类号: | B01D69/10;B01D71/02 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多孔 表面 溶胶 凝胶 薄膜 方法 | ||
1.一种在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤1:将多孔基板置于支撑垫板上;
步骤2:用密封材料将多孔基板周边或多孔基板底部与垫板连接并密封,只暴露多孔基板的单面;
步骤3:通过单面密封多孔基板,并暴露多孔基板另一面,在多孔基板暴露面涂覆溶胶,使基板孔中的空气受到压缩,而形成气垫,阻止溶胶液体流入孔内部,在基板表面形成均匀无机或无机/有机复合凝胶薄膜;
步骤4:采用烧结热处理、氧等离子处理或臭氧处理方法,去除有机成分,并使薄膜致密化,获得无机薄膜;
所述多孔基板为阳极氧化Al2O3、多孔硅、纳米孔玻璃、径迹蚀刻有机基板中一种;
所述支撑垫板为Si片、玻璃片、塑料板、金属板中一种;
所述密封材料,是指硅胶、有机塑料、石蜡、或环氧树脂密封材料。
2.根据权利要求1所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述在多孔基板暴露面涂覆溶胶,其方法为旋转涂膜:将封有多孔基板的垫板置于旋转涂膜机上,未密封的暴露面向上,然后滴下无机或无机/有机复合溶胶液滴于多孔基板暴露面的表面,启动旋转涂膜机,使旋转涂膜机速度达到100转-10000转/分钟,并保持5秒-10分钟,形成溶胶-凝胶薄膜支撑于基板表面的结构。
3.根据权利要求2所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述旋转涂膜机速度是1000转-6000转/分钟,保持30秒-3分钟。
4.根据权利要求2或3所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述旋转涂膜机速度是3000转/分钟,保持1分钟。
5.根据权利要求1所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述在多孔基板暴露面涂覆溶胶,其方法为提拉涂膜:将封有多孔基板的垫板浸入溶胶液中,以0.1-100厘米/分钟的速度从液体中提拉出垫板,形成溶胶-凝胶薄膜支撑于基板表面的结构。
6.根据权利要求5所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述提拉速度是1-20厘米/分钟。
7.根据权利要求5或6所述的在多孔基板表面涂覆溶胶-凝胶薄膜的方法,其特征是,所述提拉速度是5厘米/分钟。
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