[发明专利]碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性气体的控制方法有效
申请号: | 200810204569.4 | 申请日: | 2008-12-15 |
公开(公告)号: | CN101481823A | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
发明(设计)人: | 张传杰;杨建荣;魏彦锋;徐庆庆 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | C30B29/48 | 分类号: | C30B29/48;C30B27/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 郭 英 |
地址: | 20008*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碲镉汞 材料 制备 技术 高压 保护性 气体 控制 方法 | ||
1.一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性气体的控制系统,它由 进气压力控制器(1)、出气压力控制器(2)、质量流量计(3)和安全阀门(4) 组成,其特征在于:在材料制备系统(5)的排气管路上安装出气压力控制器 (2),质量流量计(3)串接其后,安全阀门(4)并行连接在所述的压力控制 器(2)与质量流量计(3)的串接管路上;压力控制系统中的进气压力控制器 (1)和出气压力控制器(2)采用VCR方式与系统连接,出气压力控制器(2) 与质量流量计(3)相互之间的连接也采用VCR方式。
2.根据权利要求1所述的一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性 气体的控制系统,其特征在于:所述的质量流量计(3)工作时的气体流量设 定为0.5L/min。
3.根据权利要求1所述的一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性 气体的控制系统,其特征在于:所述的进气压力控制器(1)和出气压力控制 器(2)是减压阀。
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