[发明专利]碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性气体的控制方法有效

专利信息
申请号: 200810204569.4 申请日: 2008-12-15
公开(公告)号: CN101481823A 公开(公告)日: 2009-07-15
发明(设计)人: 张传杰;杨建荣;魏彦锋;徐庆庆 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: C30B29/48 分类号: C30B29/48;C30B27/00
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 郭 英
地址: 20008*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 碲镉汞 材料 制备 技术 高压 保护性 气体 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性气体的控制系统,它由 进气压力控制器(1)、出气压力控制器(2)、质量流量计(3)和安全阀门(4) 组成,其特征在于:在材料制备系统(5)的排气管路上安装出气压力控制器 (2),质量流量计(3)串接其后,安全阀门(4)并行连接在所述的压力控制 器(2)与质量流量计(3)的串接管路上;压力控制系统中的进气压力控制器 (1)和出气压力控制器(2)采用VCR方式与系统连接,出气压力控制器(2) 与质量流量计(3)相互之间的连接也采用VCR方式。

2.根据权利要求1所述的一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性 气体的控制系统,其特征在于:所述的质量流量计(3)工作时的气体流量设 定为0.5L/min。

3.根据权利要求1所述的一种碲镉汞材料富汞制备技术所需高压保护性 气体的控制系统,其特征在于:所述的进气压力控制器(1)和出气压力控制 器(2)是减压阀。

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