[发明专利]可动镜片微调整机构无效
申请号: | 200810204974.6 | 申请日: | 2008-12-30 |
公开(公告)号: | CN101464554A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
发明(设计)人: | 陈文枢;谭长永;魏巍 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈 蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镜片 微调 整机 | ||
1.一种可动镜片微调整机构,包括一驱动部件和一执行部件,所述驱动部件带动执行部件调整镜片座,其特征在于:所述执行部件是用于将驱动部件的输出力进行放大的两级杠杆机构。
2.如权利要求1所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述两级杠杆机构采用交叉安装形式。
3.如权利要求2所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述两级杠杆机构包括:一级杠杆、二级杠杆和旋转轴支架,所述一级杠杆、二级杠杆分别通过各自转轴连接在旋转轴支架上,所述一级杠杆的短臂端与所述步进电机的输出轴接触式相对,所述一级杠杆的长臂端与二级杠杆的短臂端枢接在一起,所述二级杠杆的长臂端与镜片座接触式相对。
4.如权利要求3所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述一级杠杆的长臂端与二级杠杆的短臂端通过圆柱销连接。
5.如权利要求3所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述一级杠杆和二级杠杆的转轴分别采用膨胀轴承。
6.如权利要求1所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述驱动部件采用微亚米级运动精度的步进电机。
7.如权利要求6所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:所述步进电机的最大运动行程为11mm。
8.如权利要求3所述的可动镜片微调整机构,其特征在于:还包括一止回弹簧片,所述止回弹簧片的一端固定在旋转轴支架上,另一端设置在一级杠杆的长臂端下方。
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