[发明专利]互连线失效检测方法无效
| 申请号： | 200810205392.X | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101769975A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王津洲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R31/11;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互连 失效 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种互连线失效检测方法，其特征在于，包括：
在互连线路第一电极的激励点连接第一脉冲发生器，在测试点连接时域反射仪，在第二电极上连接第二脉冲发生器；
用第一脉冲发生器在激励点输入电压脉冲，所述脉冲上升时间小于正常互连线中从激励点输入电压脉冲至第二电极接收到电压脉冲所需时间的2倍；
如果在测试点的时域反射仪上接收到反射的电压脉冲，根据反射时间确定失效点的位置。
2.如权利要求1所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述脉冲上升时间为10皮秒～100皮秒。
3.如权利要求1所述互连线失效检测方法，其特征在于，失效点与激励点的距离＝电磁波在互连线路中传输速度×接收反射电压脉冲的时间/2。
4.如权利要求3所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述电磁波在互连线路中传输速度为：2.12×108米/秒～1.34×108米/秒。
5.如权利要求4所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述互连线路的相对介电常数为2～5。
6.如权利要求1所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述互连线路的结构为阻抗匹配的输送线。
7.如权利要求6所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述互连线路的阻抗为10欧姆～50欧姆。
8.如权利要求7所述互连线失效检测方法，其特征在于，所述互连线路的长度为1.1毫米～1.1厘米。
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