[发明专利]一种大面积微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种大面积微波等离子体化学气相沉积装置，包括一微波源，一渐变波导管，以及至少一矩形波导管，所述的微波源、渐变波导管、矩形波导管依次连接，一上端由石英玻璃板密封的一主腔体位于矩形波导管下方，矩形波导管具有一带有微波馈入孔的微波馈入窗口，所述微波馈入窗口与石英玻璃板贴合，至少一布气管通入主腔体内，主腔体内具有一用来装载基底的载物装置，所述矩形波导管与所述基底对应放置，以及一连接主腔体的真空系统。

2.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，在载物装置下端还包括一高度调节装置用来调节所述载物装置的高度。

3.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述矩形波导管至少为两个，且并排分布。

4.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述的主腔体上还具有一个观察窗。

5.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述石英玻璃板可以为整块的形式也可为多块拼接的形式。

6.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述的载物装置使用卡口将基底固定，或使用滚轮将基底传送到载物装置上。

7.根据权利要求2所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述的高度调节装置采用波纹管密封的结构。

8.根据权利要求1所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述的微波馈入窗口为可更换式。

9.根据权利要求9所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述微波馈入窗口的形状为平行四边形、椭圆形、三角形或长矩形。

10.根据权利要求3所述的大面积微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，在所述的渐变波导管和所述的矩形波导管之间连接一带有一个进口和多个出口的波导管T形接头，所述的进口与渐变波导管的出口连接，所述的多个出口分别连接一矩形波导管。