[发明专利]大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手

权利要求书

1.一种双臂晶圆传输机械手，它包括底座(1)、主丝杠驱动总成(2)、辅助丝杠驱动总成(3)、三个辅助花键导轨总成(4)、中法兰盘(5)、三个主花键导轨总成(6)、Z轴滑动支架(7)、Z轴驱动电机(35)、支撑套筒总成(8)、T轴下法兰盘(9)、T轴传动总成(10)、T轴驱动电机(11)、T轴上法兰盘(12)、R轴下法兰盘(13)、R轴右臂传动总成(14)、R轴右臂驱动电机(15)、R轴左臂传动总成(16)、R轴左臂驱动电机(17)、R轴上法兰盘(18)、R轴左臂总成(19)、R轴右臂总成(20)、走线模块总成(21)、Z轴主动带轮(23)、Z轴主从动传动带轮(25)、Z轴辅从动传动带轮(27)、Z轴同步传动带(28)和Z轴驱动电机(35)，其特征在于：所述走线模块总成(21)由线路总成(29)和发条(30)组成，所述R轴左臂总成(19)由左大臂(19-1)、左小臂(19-2)和左末端手固定架(19-3)组成，所述R轴右臂总成(20)由右大臂(20-1)、右小臂(20-2)、右末端手下支架(20-3)、右末端手立支架(20-4)和右末端手上支架(20-5)组成，所述主丝杠驱动总成(2)、Z轴驱动电机(35)、辅助丝杠驱动总成(3)和三个辅助花键导轨总成(4)均安装在底座(1)上，辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠轴(3-3)的上端穿过中法兰盘(5)并保持悬浮状态，所述辅助丝杠轴(3-3)与中法兰盘(5)的交汇处通过辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠螺母(3-2)固接，辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠轴(3-3)的下端穿过底座(1)与相应的Z轴辅从动传动带轮(27)固接，辅助花键导轨总成(4)的花键(4-4)固装在中法兰盘(5)的安装孔内，所述花键(4-4)在导轨(4-3)上滑动，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)的上端由下到上依次穿过中法兰盘(5)、Z轴滑动支架(7)、T轴下法兰盘(9)、T轴上法兰盘(12)和R轴下法兰盘(13)并保持悬浮状态，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)与Z轴滑动支架(7)的交汇处通过主丝杠驱动总成(2)的主丝杠螺母(2-2)固接，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)的下端穿过底座(1)与Z轴主从动传动带轮(25)固接，所述支撑套筒总成(8)套装在主丝杠轴(2-3)上，且支撑套筒总成(8)的上端和下端分别与T轴下法兰盘(9)和中法兰盘(5)固接，主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键轴(6-3)的下端与中法兰盘(5)固接，所述主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键轴(6-3)的上端由下至上依次穿过Z轴滑动支架(7)和T轴下法兰盘(9)，主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键(6-4)均固装在Z轴滑动支架(7)的安装孔内，所述主花键导轨花键(6-4)在主花键导轨花键轴(6-3)上滑动，所述T轴驱动电机(11)安装在T轴下法兰盘(9)的上端面上，所述T轴传动总成(10)的下端与T轴下法兰盘(9)相连接，所述T轴驱动电机(11)通过T轴三级同步传动带(10-1)与T轴传动总成(10)相连接，所述T轴传动总成(10)的上端穿过T轴上法兰盘(12)与R轴下法兰盘(13)相连接，所述R轴右臂传动总成(14)、R轴左臂传动总成(16)、R轴右臂驱动电机(15)和R轴左臂驱动电机(17)均安装在R轴下法兰盘(13)的上端面上，所述R轴左臂传动总成(16)与R轴左臂驱动电机(17)通过左臂三级同步传动带(16-1)相连接，所述R轴右臂传动总成(14)与R轴右臂驱动电机(15)通过右臂三级同步传动带(14-1)相连接，所述R轴上法兰盘(18)安装在R轴右臂传动总成(14)和R轴左臂传动总成(16)的上端面上，所述R轴左臂传动总成(16)轴穿过R轴上法兰盘(18)与R轴左臂总成(19)的左大臂(19-1)的一端相铰接，所述R轴左臂总成(19)的左大臂(19-1)的另一端与R轴左臂总成(19)的左小臂(19-2)的一端相铰接，所述R轴左臂总成(19)的左小臂(19-2)的另一端与左末端手固定架(19-3)的一端相铰接，所述R轴右臂传动总成(14)的轴穿过R轴上法兰盘(18)与R轴右臂总成(20)的右大臂(20-1)的一端相铰接，所述R轴右臂总成(20)的右大臂(20-1)的另一端与R轴右臂总成(20)的右小臂(20-2)的一端相铰接，所述R轴右臂总成(20)的右小臂(20-2)的另一端与右末端手下支架(20-3)的一端相铰接，所述右末端手下支架(20-3)的另一端与右末端手立支架(20-4)的一端相铰接，所述右末端手立支架(20-4)的另一端与右末端手上支架(20-5)的一端相铰接，所述Z轴驱动电机(35)的输出轴(22)穿过底座(1)与Z轴主动带轮(23)固接，所述Z轴主从动传动带轮(25)、Z轴辅从动传动带轮(27)和Z轴主动带轮(23)通过Z轴同步传动带(28)相连接，所述走线模块总成(21)设置在T轴上法兰盘(12)和R轴下法兰盘(13)之间，所述线路总成(29)覆在发条(30)的外表面上，所述发条(30)的外端头(30-1)与T轴上法兰盘(12)固接，所述发条(30)的内端头(30-2)与R轴下法兰盘(13)固接。

2.根据权利要求1所述双臂晶圆传输机械手，其特征在于：所述机械手还包括一级罩(31)、二级罩(32)和三级罩(33)，所述一级罩(31)设置在中法兰盘(5)的外侧，一级罩(31)的下端固装在底座(1)上，所述二级罩(32)设置在中法兰盘(5)和T轴上法兰盘(12)的外侧，二级罩(32)的上端固装在T轴上法兰盘(12)上，所述三级罩(33)设置在R轴上法兰盘(18)和T轴上法兰盘(12)的外侧，三级罩(33)的上端固装在R轴上法兰盘(18)上，且所述二级罩(32)套装在一级罩(31)的外侧，三级罩(33)套装在二级罩(32)的外侧。