[发明专利]防止高纯气体生产装置不需要的停机的系统

权利要求书

1.一种用于区分设备故障与气体纯化器床内潜在的灾难性放热反应的方 法，包括：

在纯化器床内的不同位置提供一个或多个双温度传感器，其中，第一组温 度测量设备紧靠相应的构成每一独立的双温度传感器一部分的第二组温度测量 设备放置；

对每一独立的双温度传感器选择第一和第二温度测量设备之间的第一预定 温度差；

如果超过了所述第一预定温度差则触发警报，以使操作者修复独立的双温 度传感器中的单个温度测量设备的故障；

选择第二预定设定点的温度，当所述双温度传感器中任一温度测量设备超 过所述第二预定设定点的温度时，同时未超过所述第一预定温度差时，指示给 操作者会发生潜在的灾难性放热反应。

2.根据权利要求1的方法，其中，采用三个双温度传感器，其分别放置在 所述气体纯化器床的上部、中部和下部。

3.根据权利要求1的方法，其中，第一组温度测量设备连接到第一接收计 算机卡片，而第二组温度测量设备连接到第二计算机卡片。

4.根据权利要求1的方法，其中，当超过第一预定温度差和第二预定温度 设定点时，将所述气体纯化器床设为离线。

5.根据权利要求1的方法，其中，通过每一独立的双温度传感器的两个温 度测量设备之间的温度差来确定所述第一预定温度差。

6.根据权利要求1的方法，其中，第一预定温度差为5°F到100°F。

7.根据权利要求1的方法，其中，第二预定设定点的温度为120°F到400°F。

8.一种用来防止气体纯化床内由于放热反应引起的故障的装置，包括：

气体纯化床，在所述气体纯化床内的不同位置具有一个或多个双温度传感 器；

每一双温度传感器具有两个彼此紧靠着的温度测量设备；

每一双温度传感器内的两个温度测量设备连接到不同的温度接收计算机卡 片；和

编程逻辑控制器，其基于每一双温度传感器的温度测量设备之间的第一预 定温度差和第二预定设定点的温度来监测所述气体纯化床内的放热反应，并在 双温度传感器中的两个温度测量设备之间的差值低于所述第一预定温度差但超 过所述第二预定设定点的温度时通过关停所述气体纯化床来防止故障。

9.根据权利要求8的装置，进一步包括分别设置在气体纯化床的上部、中 部和下部的三个双温度传感器。

10.根据权利要求8的装置，其中，所述温度传感器设置在纯化器床内的 热阱内。

11.根据权利要求8的装置，其中，双温度传感器的每一温度测量设备放 置在单个的或分开的热阱内。

12.根据权利要求8的装置，其中，温度测量设备位于气体纯化器床的上 部、中部和下部处的纯化器床的壁上。

13.根据权利要求8的装置，还包括位于气体纯化床上游的常规纯氮气源， 所述常规纯氮气包含0.1到10ppm的氧气、一氧化碳和氢气杂质。

14.根据权利要求8的装置，还包括位于常规氮气源和气体纯化床之间的 隔离阀，其由编程逻辑控制器控制，以在超过第一预定温度差和第二预定设定 点的温度时隔离所述气体纯化床。

15.根据权利要求8的装置，其中，当超过独立的双温度传感器的第一预 定温度时，警报被触发并且所述编程逻辑控制器提醒操作者所述双温度传感器 的设备故障。

16.根据权利要求8的装置，其中，气体纯化器床包含选自镍、钯、锆、 铂、铑、钌和钛的化学吸附剂。

17.根据权利要求8的装置，其中，气体纯化器床进一步将常规纯氮气物 流纯化至氧气、一氧化碳和氢气杂质含量为0-20ppb的超高纯水平。