[发明专利]微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

权利要求书

1.一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，该二片式fθ镜片适用于 微机电激光扫描装置，该微机电激光扫描装置至少包含用以发射光束的光源、 用以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及 用以感光的目标物；所述二片式fθ镜片包含，从所述微机电反射镜依次起算， 由新月形且凹面在所述微机电反射镜侧的第一镜片及双凹形的第二镜片，其 中所述第一镜片具有第一光学面及第二光学面，所述第一光学面与第二光学 面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，将所述微机电反射镜反射的角 度与时间为非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描 光线光点；其中所述第二镜片具有第三光学面及第四光学面，所述第三光学 面与第四光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，将所述第一镜片 的扫描光线修正聚光于所述目标物上；通过所述二片式fθ镜片将所述微机电 反射镜所反射的扫描光线在所述目标物上成像，

其中，在主扫描方向满足下列条件：

0.8<d3+d4+d5f(1)Y<1.6;]]>

-2.0<d5f(2)Y<-1.0;]]>

其中，f_(1)Y为所述第一镜片在主扫描方向的焦距、f_(2)Y为所述第二镜片在 主扫描方向的焦距、d₃为θ＝0°时所述第一镜片目标物侧光学面至所述第二镜 片微机电反射镜侧光学面的距离、d₄为θ＝0°时所述第二镜片厚度、d₅为θ＝0° 时所述第二镜片目标物侧光学面至所述目标物的距离。

2.根据权利要求1所述的微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其特 征在于其中最大光点与最小光点大小的比值满足：

0.4<δ=min(Sb·Sa)max(Sb·Sa);]]>

其中，S_a与S_b为目标物上扫描光线形成的任一个光点在主扫描方向及副 扫描方向的长度、δ为所述目标物上最小光点与最大光点的比值。

3.根据权利要求1所述的微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其特 征在于在所述目标物上最大光点的比值与最小光点的比值分别满足

ηmax=max(Sb·Sa)(Sb0·Sa0)<0.10;]]>

ηmin=min(Sb·Sa)(Sb0·Sa0)<0.10;]]>

其中，S_a0与S_b0为所述微机电反射镜反射面上扫描光线的光点在主扫描 方向及副扫描方向的长度、S_a与S_b为目标物上扫描光线形成的任一个光点在 主扫描方向及副扫描方向的长度、η_max为所述微机电反射镜反射面上扫描光 线的光点经扫描在所述目标物上最大光点的比值、η_min为所述微机电反射镜反 射面上扫描光线的光点经扫描在所述目标物上最小光点的比值。