[发明专利]硅基薄膜结构空气质量流量传感器

权利要求书

1.一种硅基薄膜结构空气质量流量传感器，其特征在于设置有采用MEMS工艺在硅基底材料上实现的隔热腔体、绝缘薄膜、加热电阻、测温电阻在内的敏感元件，所述加热电阻位于驾在隔热腔体上的绝缘薄膜绝缘之上。

2.根据权利要求1所述的空气质量流量传感器，其特征在于所述测温电阻位于硅基底材料上的绝缘薄膜之上。

3.根据权利要求1所述的空气质量流量传感器，其特征在于所述加热电阻和测温电阻采用MEMS工艺在同一基底上一次性完成，保证二者具有相同的温度敏感系数。