[发明专利]探测器装置以及探测方法

权利要求书

1.一种探测器装置，该探测器装置将排列配置有多个被检查芯片的基板载置在移动自如的基板载置台上，使所述被检查芯片的电极片与探针卡的探测器接触来对被检查芯片进行检查，该探测器装置的特征在于，包括：

检查装置主体，在内部具有所述基板载置台并且在顶板部设置有探针卡；

测试头，从该探针卡的上方与所述探针卡的上表面接近并电气接触以进行信号的收发；

旋转驱动部，用于使该测试头在所述探针卡的上方在该测试头的下表面成为水平的水平位置与从所述检查装置主体的顶板离开的退避位置之间沿着水平旋转轴的周围旋转；

设置在所述旋转轴上并用于保持所述测试头的保持部；

升降支撑机构，设置在所述检查装置主体上，从所述保持部接受处于所述水平位置的测试头并使该测试头下降至与探针卡电气接触的位置，并且使该测试头上升至所述水平位置并将其交接至保持部上；和

保持/解除单元，用于设定测试头被保持在所述保持部上的保持状态以及解除该保持的解除状态的一方，当从所述保持部将测试头交接至所述升降支撑机构时成为解除状态，此外当从所述升降支撑机构将测试头交接至所述保持部上时成为保持状态。

2.如权利要求1所述的探测器装置，其特征在于：

所述旋转驱动部被设置在所述检查装置主体上，

所述旋转轴的中心被设定为比所述测试头与探针卡电气接触时的该测试头的下表面高的位置。

3.如权利要求1或2所述的探测器装置，其特征在于：

在所述保持部和测试头之间设置有沿着上下方向引导测试头的导向机构。

4.如权利要求1或2所述的探测器装置，其特征在于：

所述保持/解除单元构成为当测试头被置于与探针卡电气接触的位置时成为将该测试头保持在所述保持部上的状态。

5.一种探测方法，该探测方法使用具有在内部设置有移动自如的基板载置台并且在顶板部设置有探针卡的检查装置主体的探测器装置，将排列配置有多个被检查芯片的基板载置在所述基板载置台上，使所述被检查芯片的电极片与所述探针卡的探测器接触来对所述被检查芯片进行检查，该探测方法的特征在于，包括：

使测试头保持在设置于水平旋转轴上的保持部上并且使其沿着该旋转轴的周围旋转，由此，从离开所述检查装置主体的顶板的退避位置旋转至在所述探针卡的上方所述测试头的下表面成为水平的水平位置的工序；

使处于所述水平位置的测试头支撑在设置于所述检查装置主体上的升降支撑机构上的工序；

接着解除所述保持部对测试头的保持，利用所述升降支撑机构使该测试头下降至该测试头与探针卡电气接触的位置的工序；和

之后，使基板与探针卡的探测器接触从而对所述基板的被检查芯片进行检查的工序。

6.如权利要求5所述的探测方法，其特征在于：

所述旋转轴被设置在所述检查装置主体上，

所述旋转轴的中心被设定为比所述测试头与探针卡电气接触时的该测试头的下表面高的位置。

7.如权利要求5或6所述的探测方法，其特征在于：

利用所述升降支撑机构使测试头下降的工序，是利用设置在所述保持部与测试头之间的导向机构引导来进行。

8.如权利要求5或6所述的探测方法，其特征在于：

在利用所述升降支撑机构使测试头下降至与探针卡电气接触的位置的工序之后，进行将该测试头保持在所述保持部上的工序。