[发明专利]使用电磁波的检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种用于使用太赫波来执行检查的检查装置，包括：

电磁波产生和照射单元，其产生太赫波并将所述太赫波照射到检 查对象上；

电磁波检测单元，其具有多个检测单元，

其中，所述多个检测单元被布置以便检测由电磁波产生和照射单 元所照射并通过与检查对象的不同位置相互作用而透射或反射的太 赫波，将所述多个检测单元构造为以不同的检测时间来检测来自不同 位置的太赫波，从而通过对来自多个检测单元的测量的值进行合成来 从检查对象获取太赫波的时间波形。

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，所述太赫波是包括 30GHz到30THz的频域中的一部分频率的脉冲，以及所述太赫波分 别被照射到检查对象的不同位置上；以及

其中，通过对所述多个检测单元所检测的透射或反射的太赫波的 测量的值进行合成来获取检查对象的平均太赫波频谱信息。

3.如权利要求1所述的检查装置，还包括：

多个镜；以及

激光器，用于经由所述多个镜将光照射到电磁波检测单元上以及 将光照射到电磁波产生和照射单元上，其中，通过对由多个检测单元 所检测的透射或反射的太赫波的测量的值进行合成来获取检查对象 的平均太赫波频谱信息，其中通过由所述多个镜所反射的光来照射所 述多个检测单元。

4.如权利要求1所述的检查装置，还包括：

长度不同的多个光纤；以及

光纤激光器，用于经由所述多个光纤将光照射到电磁波检测单元 上以及将光照射到电磁波产生和照射单元上，其中，通过对由多个检 测单元所检测的透射或反射的太赫波的测量的值进行合成来获取检 查对象的平均太赫波频谱信息，其中由通过所述多个光纤的光来照射 所述多个检测单元。

5.一种用于使用太赫波来执行检查的检查方法，包括：

产生太赫波并将所述太赫波照射到检查对象的不同位置上的步 骤；

由多个检测单元以不同的检测时间来检测通过与检查对象的不 同位置相互作用而透射或反射的太赫波的步骤；以及

通过对来自多个检测单元的测量的值进行合成从检查对象获取 太赫波的时间波形的步骤。

6.如权利要求5所述的检查方法，其中，检查对象是由经排列 的多个相同种类的样本或由均质样本构成的对象。

7.如权利要求5所述的检查方法，其中，检查对象进行移动， 以及检查对象的不同位置随着检查对象的移动而顺序地改变。

8.如权利要求6所述的检查方法，还包括以下步骤：

当获取的太赫波的时间波形处于均质样本或相同种类的样本应 该满足的参考值范围之外时，筛选样本。

9.如权利要求6所述的检查方法，还包括以下步骤：

当获取的太赫波的时间波形处于均质样本或相同种类的样本应 该满足的参考值范围之外时，对样本的生产设备的生产条件执行反馈 控制，以便在参考值范围之内进行调整。

10.一种用于使用太赫波来执行检查的检查装置，包括：

多个产生单元，用于产生太赫波；以及

多个检测单元，用于检测由所述多个产生单元产生并由检查对象 透射或反射的太赫波，

其中，布置所述多个检测单元从而以不同延迟时间分别检测透射 或反射的太赫波，以及

通过对来自所述多个检测单元的测量的值进行合成来获取透射 或反射的太赫波的时间波形。

11.如权利要求10所述的检查装置，其中，所述多个产生单元 和多个检测单元是以一维阵列的形状排列的多个光电导元件，矩形形 状的激光束被同时照射到多个光电导元件上并以直线被会聚。