[发明专利]切削工具用硬质被膜

权利要求书

1.一种切削工具用硬质被膜，该硬质被膜形成于切削工具用基材 上，其特征在于，该硬质被膜包含第一多层被膜层，该第一多层被膜层 是交替层叠第一被膜层和第二被膜层各2层以上而形成的，

所述第一被膜层的金属和半金属成分以原子％计时，该第一被膜层 表示为Al_(100-x-y-z)Cr_(x)V_(y)B_(z)，

其中，20≤x≤40，2≤y≤15，5≤z≤15，

所述第一被膜层含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的 杂质；

所述第二被膜层的金属和半金属成分以原子％计时，该第二被膜层 表示为Al_(100-u-v-w)Cr_(u)V_(v)B_(w)，

其中，20≤u≤40，0≤v≤5，0≤w≤5，

所述第二被膜层含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的 杂质；

所述第一被膜层的V的含量比例y和所述第二被膜层的V的含量比 例v满足y≥v的关系，并且，所述第一被膜层的B的含量比例z和所述 第二被膜层的B的含量比例w满足z-5≥w的关系。

2.如权利要求1所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，在所述 第一多层被膜层和所述基材之间设置有第三被膜层，该第三被膜层的金 属元素和半金属元素与所述第二被膜层的金属元素和半金属元素相同， 所述第三被膜层的韧性高于所述第一被膜层的韧性。

3.如权利要求1所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，在所述 基材上设置有第四被膜层，并且该第四被膜层紧邻所述基材，该第四被 膜层是以Ti为主成分的氮化物或碳氮化物，该第四被膜层的膜厚被设定 为0.01μm～0.5μm。

4.如权利要求2所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，在所述 基材上设置有第四被膜层，并且该第四被膜层紧邻所述基材，该第四被 膜层是以Ti为主成分的氮化物或碳氮化物，该第四被膜层的膜厚被设定 为0.01μm～0.5μm。

5.如权利要求1所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，在所述 基材上设置有第四被膜层，并且该第四被膜层紧邻所述基材，该第四被 膜层是以Cr为主成分的氮化物或碳氮化物，该第四被膜层的膜厚被设定 为0.01μm～0.5μm。

6.如权利要求2所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，在所述 基材上设置有第四被膜层，并且该第四被膜层紧邻所述基材，该第四被 膜层是以Cr为主成分的氮化物或碳氮化物，该第四被膜层的膜厚被设定 为0.01μm～0.5μm。

7.如权利要求1～6任一项所述的切削工具用硬质被膜，其特征在 于，在所述第一多层被膜层的表层侧设置有第二多层被膜层，该第二多 层被膜层是交替层叠第五被膜层和第六被膜层各2层以上而形成的，所 述第五被膜层的金属元素、半金属元素和非金属元素与所述第一被膜层 的金属元素、半金属元素和非金属元素相同，

所述第六被膜层的金属元素和半金属元素以原子％计时，该第六被 膜层表示为Si_(100-t)M_(t)，

其中，0≤t≤30，M为元素周期表中的4A、5A、6A和3B族中的 任意一种以上的元素，

所述第六被膜层含有作为非金属元素的N，并且还含有不可避免的 杂质，

所述第五被膜层的膜厚被设定为40nm以下，所述第六被膜层的膜 厚被设定为0.2nm～4nm，并且，所述第五被膜层和所述第六被膜层的 膜厚以所述第五被膜层的膜厚为所述第六被膜层的膜厚的4倍以上的方 式来设定。

8.如权利要求7所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，所述第 一多层被膜具有NaCl型晶体结构。

9.如权利要求8所述的切削工具用硬质被膜，其特征在于，所述基 材是超硬合金制造的，所述超硬合金由以WC为主成分的硬质粒子和以 Co为主成分的结合材料构成，所述WC粒子的平均粒径被设定为0.1μm～ 2μm，所述Co的含量以重量％计被设定为5％～15％。