[发明专利]压电驱动型MEMS装置及便携终端

权利要求书

1.一种压电驱动型MEMS装置，其特征在于，具备：

基板；

支持部，其设置在上述基板上；

固定电极，其设置在上述基板上；以及

执行器，其具有第1电极、在上述第1电极上形成的压电膜和在上述压电膜上形成的第2电极，配置为一端经过上述支持部固定在上述基板上，另一端与上述固定电极相对并向上述固定电极侧凸状弯曲而变为作用部；

其中，上述作用部，被贯穿上述第1电极、上述压电膜和上述第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻的电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形并个别地与上述固定电极接触。

2.根据权利要求1记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述缝隙的每个包括在上述执行器的延伸方向上形成的直线形状的一组第1缝隙部和端部与该第1缝隙部连接的半圆形的第2缝隙部。

3.根据权利要求1记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述缝隙的每个是向着上述执行器的上述另一端，沿着上述执行器的延伸方向的直线形状的缝隙。

4.一种压电驱动型MEMS装置，其特征在于，具备：

基板；

第1支持部，其设置在上述基板上；

第2支持部，其设置在上述基板上；

执行器，其具有第1电极、在上述第1电极上形成的压电膜和在上述压电膜上形成的第2电极，一端经过上述第1支持部固定在上述基板上，另一端经过上述第2支持部固定在上述基板上，中央部变为作用部并向上述固定电极侧凸状弯曲而作用；以及

固定电极，其以与上述作用部的上述第1电极相对的方式设置在上述基板上；

其中，上述作用部，被贯穿上述第1电极、上述压电膜和上述第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻的电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形并个别地与上述固定电极接触。

5.根据权利要求1或4记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述缝隙的每个是从上述作用部的大致中心呈放射状延伸的缝隙。

6.根据权利要求1或4记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述缝隙包含十字形状的缝隙。

7.根据权利要求1或4记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述缝隙包含C字形状的缝隙。

8.根据权利要求1，2，4中任何一项记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述电极部的周长的50％以上的部分形成为自由端面。

9.根据权利要求1，2，4中任何一项记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，还具备：在上述第1电极和上述固定电极之间施加电压而使静电力起作用的静电力施加部。

10.根据权利要求1，2，4中任何一项记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述执行器是具有折叠构造的可动梁。

11.根据权利要求1，2，4中任何一项记载的压电驱动型MEMS装置，其特征在于，上述执行器具有双压电片构造。

12.一种便携终端，其特征在于，具备根据权利要求1，2，4中任何一项记载的压电驱动型MEMS装置，作为可变电容或RF开关。