[发明专利]光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光源装置，特别涉及一种对用于读取放电灯的个别 信息的个别信息读取部进行保护的光源装置。

背景技术

以往，在把放电灯作为光源的曝光装置中，把用来制造大规模集成 电路(LSI)等的掩模的图形曝光在基板上。在曝光之前，需要使掩模与 基板保持正确的位置关系。为此，如图9(a)所示，专利文献1中所公 开的方法是利用摄像装置来拍摄掩模与基板的对准标记。对准掩模与基 板的相对位置，以使两者的标记一致。在将位置对准之后，将摄像装置 退后。

另外，如果是波长和光量等不满足规定规格的放电灯，就无法高精 度地曝光基板。因此在重新安装放电灯的时候，需要确认放电灯是否满 足规定规格。并且如果放电灯长期使用而导致特性变差，从而不满足规 格，就需要更换放电灯。在更换放电灯时，也需要确认新的放电灯是否 满足规定规格。

由此，在日本专利文献2中，本申请人提出了一种能够确认放电灯 是否合适的光源装置。如图9(b)所示，该光源装置通过读取在灯头上 所显示的放电灯数据而进行确认。灯座设置具有用于读取放电灯数据的 读取装置。自动判断安装好的放电灯是否是合适的放电灯。如果是合适 的放电灯，就驱动放电灯，从而对放电灯的使用状态和使用履历进行管 理。

另外，在日本专利文献3中，本申请人提出了一种IC标签认证方法。 如图9(c)所示，该方法是在密封有高压气体的放电灯的发光管的中心 轴上，借助于绝缘罩，把IC标签安装在导电性灯头的端部。在IC标签 上覆盖密封部，以防止在点灯时IC标签受到损伤或噪音，从而能够读写 IC标签上的信息。放电灯把运输时受到异常冲击的履历、被保管在异常 温度下的履历和包装箱被开启的履历等运输信息都记录在IC标签中。利 用光源装置来参照被写入IC标签中的运输信息等，判断是否可以点灯。 在包括保管运输过程和点灯过程在内的从制造阶段到使用后的所有过程 中，能够管理放电灯的个别信息，而且能够长时间安全地点灯。

并且，专利文献4所公开的“消耗品更换时间管理系统”管理消耗 品使用开始时间和使用经过时间，如果到了更换时间，会自动通知用户。 如图9(d)所示，消耗品芯片可装卸地安装在荧光灯上。在安装荧光灯 时，首先要剥去贴在消耗品芯片上的密封件。利用读写器，以非接触的 方式与IC标签通信，检测出安装状态，与此同时对安装状态信息进行读 写。根据所读出的安装状态信息来判断荧光灯是否开始使用。如果自使 用开始时间经过了一定的寿命时间，就会通知用户更换荧光灯。

并且，本申请人在专利文献5中提出了读取装置的退避方法。如图 9(e)所示，在放电灯的灯头预先显示放电灯数据。在保持灯头的灯座 上设置放电灯数据的读取单元。在放电灯保持于灯座上而未点灯的状态 下，将读取单元移动到可读取放电灯数据的位置。在点灯之前，将读取 单元移动到设有屏蔽部的退避位置，该屏蔽部对点灯时产生的热等进行 屏蔽。

[专利文献1]日本特开平07-013340号公报

[专利文献2]日本特愿2006-100000号说明书

[专利文献3]日本特愿2007-111889号说明书

[专利文献4]日本特开2006-085344号公报

[专利文献5]日本特愿2006-222170号说明书

然而，以往的放电灯个别信息读取方法中存在如下问题。对于通过 从灯座施加可绝缘击穿放电灯电极之间的脉冲状高电压并被点亮的放电 灯来讲，读取装置的结构部件有可能会被高电压绝缘击穿。并且当放电 灯点亮时，灯座周边成为从200℃到300℃左右的高温状态，因此读取装 置的结构部件过热而劣化。如果读取装置劣化，就不能够准确地管理放 电灯的使用状态和使用履历等。为了避免这种情况，把专利文献1所公 开的摄像装置进出光路的方法直接应用到光源装置中的放电灯的管理当 中是比较困难的，因为劣化原因的条件差别很大。并且如专利文献5中 所公开的一样，为了防止读取装置受热和高电压的干扰，设置用于使读 取装置退避的机构，则光源装置的结构变得复杂，成本提高。

另外，例如灯头上设有的、用于显示放电灯数据的部件因来自放电 灯的光或灯头的热而变色，因此有可能使读取装置难以进行读取。而且 IC标签也有可能因从灯头传导来的热而劣化或破损。因此，在长期使用 放电灯时，难以高可靠性地读取灯数据。

发明内容