[发明专利]蚀刻液浓度控制方法

权利要求书

1.一种蚀刻液浓度控制方法，包括下列步骤：

(a)设定蚀刻液的目标浓度值；

(b)抽取蚀刻液样本；

(c)用丙二醇稀释所述蚀刻液样本；

(d)测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值；

(e)依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，调整所述蚀刻液的浓度至所述目标浓度值。

2.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(b)还包括：

通过微泵从所述蚀刻液中抽取所述蚀刻液样本。

3.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(d)还包括：

用酸碱中和滴定法测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值。

4.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(e)还包括：

当所述目标浓度值大于所测量的浓度值时，则依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，增加所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

5.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(e)还包括：

当所述目标浓度值小于所测量的浓度值时，则依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，减少所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

6.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述蚀刻液选自由氢氧化钠、氢氧化钾、氨组成的组。

7.如权利要求1所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述蚀刻液选自由盐酸、氢氟酸、硝酸、醋酸、磷酸、硫酸组成的组。

8.一种蚀刻液浓度控制方法，包括下列步骤：

(a)设定蚀刻液的目标浓度值；

(b)抽取蚀刻液样本；

(c)用稀释液稀释所述蚀刻液样本；

(d)测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值；

(e)依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，调整所述蚀刻液的浓度至所述目标浓度值。

9.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(b)还包括：

通过微泵从所述蚀刻液中抽取所述蚀刻液样本。

10.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述稀释液选自由丙二醇、甘油、异丙醇组成的组。

11.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(d)还包括：

用酸碱中和滴定法测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值。

12.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(e)还包括：

当所述目标浓度值大于所测量的浓度值时，则依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，增加所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

13.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(e)还包括：

当所述目标浓度值小于所测量的浓度值时，则依据所述目标浓度值与所测量的浓度值的差值，减少所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。

14.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述蚀刻液选自由氢氧化钠、氢氧化钾、氨组成的组。

15.如权利要求8所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述蚀刻液选自由盐酸、氢氟酸、硝酸、醋酸、磷酸、硫酸组成的组。

16.一种蚀刻液浓度控制方法，包括下列步骤：

(a)设定蚀刻液的目标浓度值；

(b)抽取蚀刻液样本；

(c)用稀释液稀释所述蚀刻液样本；

(d)测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值；

(e)当所述目标浓度值不等于所测量的浓度值时，调整所述蚀刻液的浓度等于所述目标浓度值。

17.如权利要求16所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(b)还包括：

通过微泵从所述蚀刻液中抽取所述蚀刻液样本。

18.如权利要求16所述的蚀刻液浓度控制方法，其中步骤(d)还包括：

用酸碱中和滴定法测量所述蚀刻液样本的浓度，得到所测量的浓度值。

19.如权利要求16所述的蚀刻液浓度控制方法，其中所述稀释液选自由丙二醇、甘油、异丙醇组成的组。