[发明专利]单元集合中的单元及其制造方法无效
| 申请号： | 200810213690.3 | 申请日： | 2008-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101373743A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 萨姆·齐昆·赵;钟重华;雷泽厄·拉曼·卡恩 | 申请（专利权）人： | 美国博通公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/78 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡晓红 |
| 地址： | 美国加州尔湾市奥尔顿公*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单元 集合 中的 及其 制造 方法 | ||
1.一种单元集合中的单元，所述单元包括多层，其特征在于，包括
功能区域；及
防止裂纹蔓延至所述功能区域的防护结构；
所述防护结构包括在所述单元的每一层表面形成的图案，及将每一层表面 形成的图案连接的导通孔；所述防护结构还包括位于所述单元边角部位的暴露 电镀区域。
2.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构用于防止切 割分离工序中造成的裂纹蔓延至所述功能区域。
3.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构形成在所述 单元在切割分离工序中的受压区域。
4.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构沿所述单元 集合的单元之间的边界形成。
5.根据权利要求1所述的单元，其特征在于，所述防护结构包括从以下 形式中选择的图案：网格、多根线条和多个剖切面(plane)。
6.根据权利要求5所述的单元，其特征在于，所述防护结构包括金属材 料。
7.根据权利要求5所述的单元，其特征在于，所述单元包括多层，其中 所述表面是第一层的表面，所述防护结构还包括在第二层的表面形成的第二图 案。
8.一种制造单元条带(strip)中的单元的方法，所述单元包括多层，其特 征在于，包括：
形成功能区域；及
形成用于防止裂纹蔓延至所述功能区域中的防护结构；
所述防护结构包括在所述单元的每一层表面形成的图案，及将每一层表面 形成的图案连接的导通孔；所述防护结构还包括位于所述单元边角部位的暴露 电镀区域。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括布图所述 单元，其中所述布图所述单元包括：
布图所述功能区域；及
布图所述防护结构。
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