[发明专利]长晶炉拉晶杆有效

专利信息
申请号: 200810214280.0 申请日: 2008-08-29
公开(公告)号: CN101660195A 公开(公告)日: 2010-03-03
发明(设计)人: 徐忠龙;刘哲铭;廖弘基;徐文庆;何思桦 申请(专利权)人: 昆山中辰矽晶有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 梁爱荣
地址: 215300江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 长晶炉拉晶杆
【权利要求书】:

1.一种长晶炉拉晶杆,其特征在于,包含有:

一上圆柱筒,其上方具有一突出部连接至长晶炉的转动装置,该 上圆柱筒的筒壁具有三个贯穿圆柱筒壁的穿孔,以供插设定位栓;

三个定位栓,其分设于该上圆柱筒的筒壁上,且贯穿该筒壁,该 三个定位栓将该上圆柱筒的圆周均分三等分;

一定位杆,其顶端是呈现球状且容设于该上圆柱筒内,三个穿设 过穿孔并抵于定位杆的球状顶端的该定位栓,使该球状顶端与该定位栓 间形成动态止抵关系,使定位杆与定位栓间形成动态调整定位,来修正晶 种与坩锅的旋转轴心,以使长成的晶棒尾端呈现笔直;以及

一下圆柱体,其设于该定位杆下端,以容设晶种。

2.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,该定位杆的球 状顶端的直径为10微米。

3.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,应用于柴式长 晶法。

4.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,应用于蓝宝石 长晶炉。

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