[发明专利]长晶炉拉晶杆有效
申请号: | 200810214280.0 | 申请日: | 2008-08-29 |
公开(公告)号: | CN101660195A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 |
发明(设计)人: | 徐忠龙;刘哲铭;廖弘基;徐文庆;何思桦 | 申请(专利权)人: | 昆山中辰矽晶有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 215300江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 长晶炉拉晶杆 | ||
1.一种长晶炉拉晶杆,其特征在于,包含有:
一上圆柱筒,其上方具有一突出部连接至长晶炉的转动装置,该 上圆柱筒的筒壁具有三个贯穿圆柱筒壁的穿孔,以供插设定位栓;
三个定位栓,其分设于该上圆柱筒的筒壁上,且贯穿该筒壁,该 三个定位栓将该上圆柱筒的圆周均分三等分;
一定位杆,其顶端是呈现球状且容设于该上圆柱筒内,三个穿设 过穿孔并抵于定位杆的球状顶端的该定位栓,使该球状顶端与该定位栓 间形成动态止抵关系,使定位杆与定位栓间形成动态调整定位,来修正晶 种与坩锅的旋转轴心,以使长成的晶棒尾端呈现笔直;以及
一下圆柱体,其设于该定位杆下端,以容设晶种。
2.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,该定位杆的球 状顶端的直径为10微米。
3.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,应用于柴式长 晶法。
4.如权利要求1所述的长晶炉拉晶杆,其特征在于,应用于蓝宝石 长晶炉。
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