[发明专利]衍射光学元件有效
| 申请号： | 200810214434.6 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101349773A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 前野仁典 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;刘宗杰 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 | ||
1.一种衍射光学元件，在1个衬底上形成具有n级台阶形状的元件以及具有m级台阶形状的元件，其中n＞m，该衍射光学元件其特征在于，
所述m级台阶形状的第1级形成在与所述n级台阶形状的第2级相同的级上，
所述n级台阶形状和所述m级台阶形状的相位校正是(1/m-1/n)π，
台阶高差方向的相位校正是Aπ，其中将朝向下级的方向作为正，与台阶高差方向垂直的方向的相位校正是Bπ，其中将所述m级台阶形状靠近所述n级台阶形状的方向作为正，
A＞1/m-1/n，A+B＝1/m-1/n。
2.一种衍射光学元件，在1个衬底上形成具有n级台阶形状的元件以及具有m级台阶形状的元件，其中n＞m，该衍射光学元件其特征在于，
所述m级台阶形状的所有级形成在与所述n级台阶形状的某级相同的级上，
所述n级台阶形状和所述m级台阶形状的相位校正是(1/m-1/n)π，
台阶高差方向的相位校正是Aπ，其中将朝向下级的方向作为正，与台阶高差方向垂直的方向的相位校正是Bπ，其中将所述m级台阶形状靠近所述n级台阶形状的方向作为正，
A＞1/m-1/n，A+B＝1/m-1/n。
3.如权利要求1或2中记载的衍射光学元件，其特征在于，
所述n级台阶形状和m级台阶形状的结合部的宽度比所述n级台阶形状的第n级的宽度宽。
4.如权利要求1或2中记载的衍射光学元件，其特征在于，
所述n是7，所述m是3。
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